*1 FDA (CDRH) 的激光分類是基于 IEC60825-1 并根據(jù) Laser Notice No.50 的要求而實(shí)施的。高度(從測(cè)量頭的基準(zhǔn)面到測(cè)量工件的距離)的分辨率為 1µm(*2)。
*2 使用基恩士標(biāo)準(zhǔn)目標(biāo)物，并測(cè)量單一矩形區(qū)域(*3)的平均高度 30 秒時(shí)的±3σ 值(自動(dòng)修復(fù)OFF 時(shí))。
*3 矩形的尺寸為WI-001：0.3 × 0.9 mm，WI-004：1.1 × 3.7 mm，WI-010：3 × 9 mm。
*4 使用基恩士標(biāo)準(zhǔn)目標(biāo)物，并測(cè)量 2 個(gè)矩形區(qū)域(*3)的平均段差 30 秒時(shí)的σ 值(自動(dòng)修復(fù)OFF 時(shí)，且拍攝時(shí)間為精確度優(yōu)先時(shí))。
*5 使用基恩士標(biāo)準(zhǔn)目標(biāo)物，并測(cè)量 2 個(gè)矩形區(qū)域(*3)的平均段差時(shí)的值(自動(dòng)修復(fù)OFF 時(shí)，且拍攝時(shí)間為精確度優(yōu)先時(shí))。
*6 拍攝時(shí)的工件停止時(shí)間為高速模式 120 ms，標(biāo)準(zhǔn)模式 240 ms。