產(chǎn)品簡介
詳細(xì)介紹
我公司專業(yè)代理經(jīng)銷奧林巴斯MX63/MX63L 半導(dǎo)體/FPD檢查顯微鏡,為客戶提供專業(yè)的售前產(chǎn)品咨詢和售后安裝服務(wù)。奧林巴斯新推出的MX63和MX63L半導(dǎo)體檢測顯微鏡具備優(yōu)異的光學(xué)性能、適合大樣品的檢測、*的人體工學(xué)設(shè)計(jì)等諸多優(yōu)點(diǎn)將會(huì)有助電子制造行業(yè)的發(fā)展更上一層樓。
奧林巴斯MX63/MX63L 半導(dǎo)體/FPD檢查顯微鏡
現(xiàn)今智能手機(jī)產(chǎn)業(yè)的蓬勃發(fā)展帶動(dòng)了包括半導(dǎo)體、平板顯示(FPD)、印制電路板(PCB)等整個(gè)電子制造業(yè)的飛速進(jìn)步。奧林巴斯新推出的MX63和MX63L半導(dǎo)體檢測顯微鏡具備優(yōu)異的光學(xué)性能、適合大樣品的檢測、*的人體工學(xué)設(shè)計(jì)等諸多優(yōu)點(diǎn)將會(huì)有助電子制造行業(yè)的發(fā)展更上一層樓。
新推出的MX63/MX63L半導(dǎo)體檢測顯微鏡具備有如下的特點(diǎn):
從不可見到可見:MIX觀察與采集
新MX63/MX63L是該系列*支持奧林巴斯MIX照明功能的產(chǎn)品,由此進(jìn)一步提升了該顯微鏡的觀察能力。MIX可將暗場與明場、熒光或偏振等其他觀察方法結(jié)合使用。在很多應(yīng)用中,MIX能夠幫助用戶觀察到使用傳統(tǒng)顯微鏡難以看到的缺陷
長壽命高強(qiáng)度白色LED照明:始終*的色溫
新MX63/MX63L顯微鏡配備了高強(qiáng)度白光LED光源,兼顧低功耗和長壽命的優(yōu)點(diǎn),而且其穩(wěn)定的色溫為可靠的圖像質(zhì)量和精確的色彩復(fù)現(xiàn)提供了保障。
功能性:適合所有晶園尺寸
新MX63/MX63L顯微鏡特別適用于半導(dǎo)體、平板顯示、印制電路板等行業(yè)的大尺寸樣品檢測。MX63可用于晶圓直徑200mm,MX63L可用于晶圓直徑300mm。此外,新顯微鏡還可以選配晶園搬送機(jī),實(shí)現(xiàn)可靠、安全、高效的對(duì)晶圓正面和背面進(jìn)行檢測
模塊化:全面可定制
新MX63/MX63L顯微鏡的模塊化設(shè)計(jì)讓檢測者能夠根據(jù)應(yīng)用需要選擇組件。兩款顯微鏡均按潔凈室應(yīng)用而設(shè)計(jì),并符合SEMI S2/S8、CE和UL要求。所有電動(dòng)組件均安裝在屏蔽結(jié)構(gòu)內(nèi),鏡架、鏡筒以及其他部件均經(jīng)過防靜電處理。
人性化:滿足人體工學(xué)的設(shè)計(jì)
新MX63/MX63L顯微鏡采用人體工學(xué)設(shè)計(jì),可以快速設(shè)置調(diào)整和簡易控制。更換物鏡以及調(diào)整孔徑光闌的控制位于顯微鏡前面較低的位置,因此用戶在使用過程中可始終保持透過目鏡觀察而無須松開對(duì)焦旋鈕。電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)盤旋轉(zhuǎn)迅速,在縮短檢測間隔時(shí)間的同時(shí)還可讓操作者的手始終在晶圓下方,降低可能存在的污染風(fēng)險(xiǎn)。
憑借這些強(qiáng)大的觀察功能和簡單的操作特性,MX63/MX63L工業(yè)檢測顯微鏡能夠?qū)崿F(xiàn)快速高效的實(shí)現(xiàn)大尺寸樣品檢測。
| MX63 | MX63L | |
光學(xué)系統(tǒng) | UIS2光學(xué)系統(tǒng)(無限遠(yuǎn)校正系統(tǒng)) | ||
顯微鏡鏡架 | 反射光照明 | 白光LED (帶有光強(qiáng)管理器) 12伏100瓦鹵素?zé)? 100瓦汞燈 明場/暗場/分光鏡組,手動(dòng)切換。(分光鏡為選配件。) | |
透射光照明 | 需要透射光照明單元MX-TILLA或MX-TILLB。 | ||
聚焦 | 行程:32毫米 | ||
大負(fù)載重量(包括載物臺(tái) | 8 kg | 15 kg | |
觀察筒 | 寬視場 | 正像三目觀察筒:U-ETR4 | |
超寬視場 | 正像傾斜式三目觀察筒:MX-SWETTR (光程切換* (目鏡):0 (相機(jī)) 或0:*) 正像傾斜式三目觀察筒:U-SWETTR | ||
電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)盤 | 明場 | ||
載物臺(tái) (X × Y) | 帶內(nèi)置離合驅(qū)動(dòng)的同軸右手柄:MX-SIC8R | 帶內(nèi)置離合驅(qū)動(dòng)的同軸右手柄:MX-SIC1412R2 | |
重量 | 約50公斤 (顯微鏡架37.5公斤) | 約64公斤 (顯微鏡架44公斤) |