威卡高純度應(yīng)用傳感器WU-20, WU-25, WU-26將數(shù)字傳感器概念與類似模擬的輸出信號相結(jié)合，以便提供當(dāng)今市場要求所需的安全和最準(zhǔn)確的壓力測量。壓力測量，基于真正的真空參考，干擾屏蔽和信號的電子措施噪音消除確保高精度壓力測量和出色的長期穩(wěn)定性。主動溫度補償降低了影響改變傳感器上的溫度，即使在溫度波動較大的應(yīng)用中也能實現(xiàn)安全操作，例如 氣體膨脹情況下的焦耳-湯姆遜效應(yīng)。WU-25 型（流通型）和 WU-26 型（表面安裝）傳感器專門設(shè)計用于維持安裝過程中經(jīng)常產(chǎn)生的扭轉(zhuǎn)應(yīng)力。薄膜傳感器的特殊設(shè)計消除了風(fēng)險由于過程連接處的負(fù)載或傳感器故障焊接接頭。

應(yīng)用

■ OEM工具用氣體面板

■ 半導(dǎo)體、平板顯示和光伏產(chǎn)業(yè)

■ 特殊和大宗氣體供應(yīng)

特殊功能

■ 高精度壓力測量 0.15 % RSS

■ 優(yōu)異的長期穩(wěn)定性

■ 信號噪聲消除和屏蔽

■ 主動溫度補償

■ ATEX 和 IECEx 2 區(qū)認(rèn)證

第一類，分區(qū)。 2、A、B、C、D組
技術(shù)參數(shù)：

精度規(guī)格

符合 IEC 61298-2 的 BFSL 非線性

對于測量范圍 > 2 bar ≤ 量程的 0.1 %

對于測量范圍 ≤ 2 bar ≤ 量程的 0.15 %

準(zhǔn)確度 → 見“Max. 測量偏差"

最大限度。 測量偏差

RSS（和方根） ■ ≤ 0.15 % 的跨度

■ ≤ 0.4 % 量程，測量范圍 ≤ 2 bar

根據(jù) IEC 61298-2 ■ ≤ 量程的 0.3 %

■ ≤ 0.6 % 量程，測量范圍 ≤ 2 bar

零點設(shè)置

電流輸出 -3.5 ... +3.5 % 量程（通過電位計）

電壓輸出 -2 ... +3.5 % 量程（通過電位計）

符合 IEC 61298-2 的不可重復(fù)性 ≤ 量程的 0.12 %

-20 ... +80 °C [-4 ... +176 °F] 時的平均溫度系數(shù)（主動補償）

零點 ≤ 0.1 % of span/10 K

跨度 ≤ 0.15 % 跨度/10 K

符合 IEC 61298-2 的長期漂移

典型值 ≤ 0.25 % 量程，在參考條件下

測量范圍 ≤ 2 bar ≤ 量程的 0.4 %

參考條件 符合 IEC 61298-1