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高分辨率光譜儀常用的應(yīng)用

閱讀:1852      發(fā)布時(shí)間:2018-11-2
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   高分辨率光譜儀常用的應(yīng)用主要有以下各個(gè)方面。
  1.發(fā)射光譜測(cè)量
  發(fā)射光譜測(cè)量可以用不同的實(shí)驗(yàn)布局和波長范圍來實(shí)現(xiàn),還要用到余弦校正器或積分球。發(fā)射光譜測(cè)量可以在紫外/可見和可見/近紅外波長范圍內(nèi)測(cè)量。
  對(duì)于發(fā)射光譜的測(cè)量,光譜儀可以配置成波長范圍從200-400nm或350-1100nm,或組合起來實(shí)現(xiàn)紫外/可見200-1100nm,并可以在定標(biāo)實(shí)驗(yàn)室里進(jìn)行輻射定標(biāo)。定標(biāo)后的實(shí)驗(yàn)布局不能改變,如光纖和勻光器都不能更改。
  為了使實(shí)驗(yàn)布局更靈活,用可見/近紅外定標(biāo)光源或紫外/可見/近紅外定標(biāo)光源可以在用戶現(xiàn)場(chǎng)進(jìn)行定標(biāo)。定標(biāo)并載入輻射定標(biāo)數(shù)據(jù)。
  2.拉曼光譜測(cè)量
  拉曼光譜儀系統(tǒng)是一臺(tái)高度集成化而且價(jià)格很低的系統(tǒng),適用于需要拉曼測(cè)量的應(yīng)用領(lǐng)域。拉曼系統(tǒng)包括半導(dǎo)體激光器,光纖光譜儀,和多種可選光纖探頭和Raman應(yīng)用軟件。
  拉曼光譜儀系統(tǒng)有量個(gè)基本型:1。低成本非冷卻型,分辨率25cm-1。2。高性能TE致冷型,分辨率10cm-1。
  拉曼光譜儀系統(tǒng)特別適用于反應(yīng)過程監(jiān)控、產(chǎn)品識(shí)別、遙感,水溶液、凝膠體和其它介質(zhì)中高散射粒子的判定。拉曼光譜儀系統(tǒng)的光源也可以選擇50mW或100mW的532nm固體綠光激光器、氬離子激光器或HeNe激光器。
  3.顏色測(cè)量
  一般來說,物體和濃稠液體的顏色測(cè)量可以使用不同的實(shí)驗(yàn)布局,比如使用反射型光纖探頭或積分球。在該測(cè)量中,可以使用波長范圍在380到780nm,分辨率(FWHM)為5nm的光譜儀;此外,還需要白光連續(xù)光源和白色反射瓦。對(duì)于測(cè)量紡織品、紙張、水果、葡萄酒、鳥類羽毛顏色等不同的應(yīng)用可以使用不同的光纖探頭。
  4.LED測(cè)量
  簡單而且迅速地測(cè)量LED的整個(gè)光通量的方法就是使用一個(gè)積分球,并把它連接到一個(gè)光譜儀上。該系統(tǒng)可以用鹵素?zé)暨M(jìn)行定標(biāo),然后用軟件從測(cè)量到的光譜分布計(jì)算出相關(guān)參數(shù),并實(shí)現(xiàn)輻射量的測(cè)量。所測(cè)光源的光譜發(fā)光強(qiáng)度還可以用μW/cm2/nm來計(jì)算、顯示并存儲(chǔ)。另外的窗口還可以顯示大約10個(gè)參數(shù):輻射量μW/cm2, μJ/cm2, μW或μJ;光通量lux或lumen,色軸X, Y, Z, x, y, z, u, v和色溫。
  5.氧濃度傳感器
  氧濃度傳感器包括一個(gè)光纖熒光探頭,探頭表面鍍有膜層,并使用一個(gè)藍(lán)光LED作為激發(fā)源,還有一臺(tái)高靈敏度的微型光譜儀。該傳感器應(yīng)用熒光技術(shù)測(cè)量氧的含量,樣品產(chǎn)生的熒光反射回探測(cè)器上。當(dāng)氣態(tài)或液態(tài)樣品中的氧擴(kuò)散到探頭的膜層上時(shí),就會(huì)使熒光猝滅,猝滅的程度與樣品中的氧的濃度是相關(guān)的。
  6.真空室鍍膜過程監(jiān)控
  光纖光譜儀為真空室內(nèi)鍍膜過程的監(jiān)控提供了一種靈活的測(cè)量手段,它可以方便地把光引入并引出真空室或潔凈工作倉,同時(shí)選擇鍍膜過程分析所需要測(cè)量的參數(shù)。在實(shí)際的在線生產(chǎn)中,可以在工作倉中放置幾個(gè)探頭來檢測(cè)整個(gè)生產(chǎn)過程。圖示為真空室鍍膜過程監(jiān)控的典型實(shí)驗(yàn)布局。在這里一個(gè)反射型光纖探頭用來在線監(jiān)測(cè)鍍膜過程。氘-鹵素?zé)舭l(fā)出的光被導(dǎo)入真空室并傳導(dǎo)到反射探頭上,反射光由反射探頭傳導(dǎo)到光譜儀中;也可以再增加一個(gè)通道作為參考測(cè)量來補(bǔ)償光源的波動(dòng)。
  7.薄膜厚度測(cè)量
  膜厚測(cè)量系統(tǒng)基于白光干涉測(cè)量原理,可以測(cè)量的膜層厚度10nm-50μm,分辨率為1nm。薄膜測(cè)量在半導(dǎo)體晶片生長過程中經(jīng)常被用到,因?yàn)榈入x子體刻蝕和淀積過程需要監(jiān)控;其它應(yīng)用如在金屬和玻璃材料基底上鍍透明光學(xué)膜層也需要測(cè)量膜層厚度。配套的應(yīng)用軟件包括豐富的各種常用材料和膜層的n值和k值,可以實(shí)現(xiàn)膜層厚度的在線監(jiān)測(cè),并可以輸出到Excel文件進(jìn)行過程控制。
  8.寶石成分檢測(cè)
  顏色是判斷鉆石成色的決定因素之一,天然鉆石和人造鉆石可以用波長范圍在400-750nm的光檢測(cè)出來。在天然Ia類鉆石的吸收譜中可以發(fā)現(xiàn)415nm和478nm的特征波長,而人造鉆石在該波長處則沒有吸收峰。人造鉆石中可以探測(cè)到592nm和741nm的波長。而且天然鉆石和人造鉆石的吸收峰幅值相差近10倍。當(dāng)然其它寶石也可以用這種方法檢測(cè),如紅寶石、紫翠玉、藍(lán)寶石等。寶石成分檢測(cè)的典型實(shí)驗(yàn)布局如圖所示。
  9.熒光測(cè)量--熒光光譜儀系統(tǒng)
  在許多應(yīng)用領(lǐng)域如生物學(xué)(葉綠素和類胡蘿卜素)、生物醫(yī)學(xué)(惡性病的熒光診斷)和環(huán)境應(yīng)用中都需要用到熒光檢測(cè)技術(shù)。熒光檢測(cè)通常需要高靈敏度光譜儀。在大多數(shù)應(yīng)用中熒光能量僅為激發(fā)光能量的3%,波長要長于激發(fā)光,而且時(shí)散射光。在熒光測(cè)量系統(tǒng)中,一定要避免激發(fā)光進(jìn)入到光譜儀中。
  10.生物醫(yī)學(xué)應(yīng)用
  在過去的十年中,許多用戶進(jìn)行了血成分分析的非侵入式和侵入式的光譜學(xué)測(cè)量手段,測(cè)量了許多重要的醫(yī)學(xué)指標(biāo),如組織和紋理中的氧濃度、血色素、細(xì)胞色素和水濃度等。非侵入式檢測(cè)系統(tǒng)包括微型光纖光譜儀、鹵鎢燈和反射型光纖探頭,而侵入式檢測(cè)系統(tǒng)則使用了一根植入于導(dǎo)管中的特殊的反射型光纖探頭。
  在需要連續(xù)測(cè)量氧濃度、血色素的氧化和去氧化過程的醫(yī)學(xué)應(yīng)用中,該系統(tǒng)得到了成功的應(yīng)用。 
  11.紫外/可見吸收光譜測(cè)量
  液體的吸收率測(cè)量可以用不同的實(shí)驗(yàn)布局和波長范圍來實(shí)現(xiàn),如使用浸入型光纖探頭或流動(dòng)樣品池進(jìn)行在線吸收率測(cè)量,或使用樣品固定器進(jìn)行樣品的吸收率測(cè)量。對(duì)于測(cè)量紫外/可見波長范圍的光譜儀,可以選擇波長范圍200-1100nm、分辨率1.4nm(FWHM)。此外還需要氘-鹵素?zé)糇鳛楣庠?。不同的?yīng)用可以選擇不同的光纖探頭。吸收率測(cè)量的典型實(shí)驗(yàn)布局如圖所示。

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