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超低溫恒溫槽操作說明書
閱讀:3216 發(fā)布時間:2017-9-7超低溫恒溫槽應用范圍:
1.對半導體制造裝置發(fā)熱部的冷卻:單晶片洗凈轉載、印刷機、自動夾座安裝裝置、噴涂裝置、離子鍍裝置、蝕刻裝置、單晶片處理裝置、切片機、包裝機、顯影劑的溫度管理、露光裝置、生磁部分的加熱裝置等。
2.對激光裝置發(fā)熱部分的冷卻:激光加工、熔接機的發(fā)熱部分、激光標志裝置、發(fā)生裝置、二氧化碳激光加工機等。
超低溫恒溫槽操作規(guī)范:
1.槽內加入液態(tài)介質,使介質液面低于工作臺板30mm。應遵循以下原則:
a.當工作溫度低于5℃時,液體介質一般選用無水乙醇或乙二醇;
b.當工作溫度在5~85℃時,液體介質一般選用水;
c.當工作溫度低于85~95℃時,液體介質可選用15%甘油水溶液。
2.連通電源,開啟“電源”開關,開啟“循環(huán)”開關。
3.按SET鍵設定溫度,上排數(shù)碼管(PV)正常測溫,下排數(shù)碼管(SV)數(shù)據(jù)閃動,表示儀表進入溫度設定狀態(tài)。按△鍵設定值增大,按▽鍵設定值減小,溫度設定范圍在-5~100℃,持續(xù)按△鍵或▽鍵設定值會快速變化;zui后按一下SET鍵確認設定溫度,儀器開始工作。當上述操作完成后,儀器進入溫度自動控制狀態(tài),測量溫度(PV)顯示槽內實際溫度。
4.關閉“電源”開關,分開空氣開關,電源切斷。