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邁可諾技術(shù)有限公司
主營產(chǎn)品： 美國Laurell勻膠機(jī),WS1000濕法刻蝕機(jī),Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機(jī),NOVASCAN紫外臭氧清洗機(jī) |
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邁可諾技術(shù)有限公司
主營產(chǎn)品： 美國Laurell勻膠機(jī),WS1000濕法刻蝕機(jī),Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機(jī),NOVASCAN紫外臭氧清洗機(jī) |
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應(yīng)用程序示例
1.半導(dǎo)體制造
?光刻膠去除（剝離）及其殘留物（去除浮渣）。
?有機(jī)焚燒（灰化），各向同性去除有機(jī)聚合物（如聚酰胺等）和氧化硅/氮化物。
?引線鍵合前的清潔或表面改性（粘合劑廣告和芯片載體）
?各向同性蝕刻
2.光學(xué)和眼科
工業(yè)洗滌后的原子水平清洗和預(yù)處理，以提高防眩涂層的附著力，耐刮擦; 聚合層劃傷和防霧。
3.紡織工業(yè)
清潔和表面改性，以便在天然或合成纖維上染色或印花之前獲得親水表面。（僅用于研發(fā)目的，不適用于大規(guī)模生產(chǎn)）
4.生物醫(yī)藥
表面清潔和改性適用于以下應(yīng)用：
?植入裝置（增加潤滑性，加快骨整合）
?不同材料（如注射器針頭，導(dǎo)管等）之間的粘接
?在典型的工業(yè)清潔循環(huán)后，從有機(jī)殘留物中進(jìn)行終的超細(xì)原子級清潔
?接觸式和人工晶狀體。
?支架
?樣品瓶
?對敏感塑料材料進(jìn)行滅菌
5.精密機(jī)械
工業(yè)洗滌后在金屬和陶瓷表面的原子水平進(jìn)行清潔以改善可涂漆性或其他類型的涂層（例如PVD）。
6.塑料工業(yè)
用于潤濕性和不可潤濕性的表面清潔和改性
?粘接，焊接或涂裝/印刷前的表面清潔
?噴漆，印刷前表面活化
?表面氟化，增強(qiáng)功能
?交聯(lián)和表面聚合
工作原理
Tucano采用*PLC和LCD彩色觸摸屏顯示器實(shí)現(xiàn)全自動化。 使用該系統(tǒng)，可以直接在系統(tǒng)組件上操作，或讓PLC根據(jù)用戶可編輯的配方執(zhí)行過程。通過使用質(zhì)量流量控制器（MFC）將一種或多種處理氣體引入處理室。 RF射頻被引入腔室; 與氣體分子相互作用，該信號產(chǎn)生等離子體。產(chǎn)生的等離子體提供作用于待處理的基板表面的*單層的反應(yīng)性離子物質(zhì)。 可以通過影響等離子體狀態(tài)的參數(shù)（氣體流量和頻率強(qiáng)度）來改變所得到的過程。
產(chǎn)品功能
臺式等離子系統(tǒng)，簡單而通用
?多可處理十種不同的可編輯配方
?*結(jié)果的*性
?數(shù)據(jù)記錄功能
?長期可靠性
?使用的主要品牌組件，如真空泵、儀表和質(zhì)量流量控制器（MKS儀器）
?可調(diào)節(jié)的RF功率水平，范圍為1W至200W
