SKY® 電 容 膜 片 真 空 計

加熱型電容薄膜規(guī)，高精度真空計

CDG100D

INFICON SKY CDG100D 真空計是高精度總壓強(qiáng)測量和控制的

上佳選擇. 為達(dá)到優(yōu)異的半導(dǎo)體和等離子過程要求的性能, 將 CDG100D 真空計的溫度控制于100°C. 全量程范圍從100 毫乇 至 1000 乇, 配有全部常用的法蘭型式和 fieldbus 接口, 和提供線性的 0 至 10 伏與氣體類型無關(guān)的壓強(qiáng)訊號. INFICON 電容真空計采用超純抗腐蝕的氧化鋁陶瓷膜片. 陶瓷傳感器的優(yōu)點是訊號穩(wěn)定性好, 從大氣壓恢復(fù)速度快, 預(yù)熱時間短和超長的使用壽命. INFICON CDG 是高質(zhì)量, 成本效益好的壓強(qiáng)傳感器, 用于半導(dǎo)體, 等離子和各項要求高的真空應(yīng)用中。

加熱型電容薄膜規(guī)，高精度真空計優(yōu)點

■ 低 CoO （擁有成本）, 50% 快速預(yù)熱, 能效高, 功耗低

■ 易整合于系統(tǒng)中, 寬量程范圍, 法蘭和接口, 標(biāo)準(zhǔn)型號帶有兩個設(shè)點

■ 簡易的一鍵操作或遙控訊號調(diào)零指令, 零點偏離可調(diào)

■ 診斷端口用于快速檢修和維護(hù)

■ 兩年保用期, 采用*的加熱概念和傳感器保護(hù), 真空計使用壽命長

■ 由于超卓的訊號穩(wěn)定性和可重復(fù)性, 即使在嚴(yán)酷的等離子應(yīng)用條件下仍可長期使用,無需重新校準(zhǔn)

■ 承諾和標(biāo)準(zhǔn): CE, EN, UL, SEMI, RoHS

用途

■ 刻蝕, PVD, CVD和其它半導(dǎo)體生產(chǎn)過程

■ 化學(xué)和腐蝕性高溫過程

■ 需要真空計保護(hù)的常用薄膜和真空過程