如何選擇INFICON真空計(jì)
　　
　　一，皮拉尼真空計(jì)
　　
　　1.皮拉尼真空計(jì)原理
　　
　　加熱電阻絲，使之升溫至需要的工作溫度
　　
　　由于氣體粒子與電阻絲碰撞離開(kāi)時(shí)帶走了能量，電阻絲的溫度會(huì)發(fā)生變化
　　
　　熱絲的能量損失與熱絲周?chē)臍怏w濃度及氣體成分成比例關(guān)系
　　
　　2.衍生出兩種類(lèi)型的皮拉尼規(guī)
　　
　　1，穩(wěn)定溫度，測(cè)量施加的電壓變化等效測(cè)量真空度（INFICONPSG500）
　　
　　2，穩(wěn)定電壓，測(cè)量溫度變化等效測(cè)量真空度（熱偶規(guī)）
　　
　　3.氣體的熱傳導(dǎo)，與下列提條件有關(guān):
　　
　　1，氣體類(lèi)型
　　
　　2，壓力大小
　　
　　4.皮拉尼真空計(jì)測(cè)量范圍與精度
　　
　　測(cè)量范圍（空氣,氧氣,一氧化碳,氮?dú)猓?x10-4至1000mbar
　　
　　精度（氮?dú)猓?1x10-3…100毫巴±15%
　　
　　5x10-4…1x10-3毫巴±50%
　　
　　100...1000毫巴±50%
　　
　　5.皮拉尼真空計(jì)的優(yōu)特點(diǎn)
　　
　　燈絲部分在不影響精度與速度的情況下，加以zui大的保護(hù)，大大延長(zhǎng)了燈絲的使用壽命
　　
　　6.皮拉尼真空計(jì)具體型號(hào)
　　
　　lPSG050/051
　　
　　lPSG100-SPSG101-S
　　
　　lPSG500/500-SPSG502
　　
　　l皮拉尼電容膜片復(fù)合真空計(jì)PCG400PCG410PCG550
　　
　　1.有皮拉尼規(guī)與特制的陶瓷薄膜規(guī)合成在一起
　　
　　2.兩種原理的規(guī)管全過(guò)程都工作
　　
　　3.100mbar—1000mbar使用薄膜規(guī)信號(hào)
　　
　　4.1mbar–100mbar兩規(guī)信號(hào)同時(shí)采用
　　
　　5.5x10-4mbar–1mbar采用皮拉尼信號(hào)
　　
　　6.輸出的真空度信號(hào)（電壓）連續(xù)，無(wú)跳躍
　　
　　7.皮拉尼真空計(jì)應(yīng)用行業(yè)
　　
　　l各種高真空泵的前級(jí)壓力測(cè)量，如光伏，鍍膜，等離子行業(yè)
　　
　　l各種中低真空測(cè)量，如照明，冶金
　　
　　l真空連鎖控制，高真空計(jì)的點(diǎn)火開(kāi)關(guān)控制，如PEG100
　　
　　lPSG050可*替代TR211，PSG051可*替代TR216
　　
　　lPCG400PCG410（現(xiàn)在已升級(jí)為PCG550，PCG400/PCG410已經(jīng)停產(chǎn)）與PSG500基本相同，但彌補(bǔ)了皮拉尼規(guī)大氣測(cè)量段精度不足的弱點(diǎn)，而且不受氣體類(lèi)型的影響，在真空爐，單晶爐，多晶爐，藍(lán)寶石爐上廣泛應(yīng)用
　　
　　lPSG100PSG101，與PSG500/PSG050基本相同，但因?yàn)榫哂型ㄓ崊f(xié)議功能，在大系統(tǒng)中應(yīng)用廣泛
　　
　　二，電容薄膜規(guī)CDG025D/CDG045/100/160/200
　　
　　1.電容薄膜規(guī)工作原理
　　
　　l壓力使膜片變形，變形量與壓力大小成比例關(guān)系
　　
　　l通過(guò)測(cè)量不同壓力下的陶瓷膜片的變形量測(cè)量真空度
　　
　　2.電容薄膜規(guī)特點(diǎn)
　　
　　l以可靠的超純陶瓷傳感器室為基礎(chǔ)構(gòu)成
　　
　　l在嚴(yán)酷和腐蝕性環(huán)境中,穩(wěn)定與可靠的高精度壓強(qiáng)測(cè)量
　　
　　l快速的預(yù)熱和恢復(fù)時(shí)間,提高生產(chǎn)率
　　
　　l的長(zhǎng)期穩(wěn)定性,再現(xiàn)性和重復(fù)性
　　
　　l由于電子學(xué)直接安裝在傳感器上,改進(jìn)了溫度補(bǔ)償和EMC兼容性
　　
　　l對(duì)環(huán)境條件變化的敏感度的降低使得測(cè)量更穩(wěn)定
　　
　　l快速預(yù)熱在開(kāi)機(jī)的一分鐘內(nèi)達(dá)到快速穩(wěn)定和進(jìn)入準(zhǔn)備使用狀態(tài)
　　
　　l一鍵按鈕:調(diào)零功能和設(shè)點(diǎn)調(diào)整
　　
　　l抗腐蝕超純陶瓷傳感器
　　
　　l能經(jīng)受數(shù)百萬(wàn)次壓強(qiáng)循環(huán)周期,包括大氣壓沖擊,無(wú)任何降低性能的跡象
　　
　　l暴露大氣壓后快速恢復(fù),無(wú)需隔離閥
　　
　　l對(duì)蒸氣介質(zhì)不敏感
　　
　　*進(jìn)的傳感器屏蔽（）延長(zhǎng)真空計(jì)在污染的工藝過(guò)程中的使用壽命
　　
　　3.INFICON陶瓷技術(shù)
　　
　　l陶瓷技術(shù)的*性
　　
　　1，無(wú)“記憶”效應(yīng)
　　
　　2，陶瓷無(wú)疲勞問(wèn)題
　　
　　3，的溫度補(bǔ)償
　　
　　4，的零點(diǎn)穩(wěn)定性
　　
　　l低使用成本
　　
　　1.非凡的使用壽命
　　
　　2.無(wú)需隔離閥
　　
　　4.SkyCDG025D測(cè)量范圍
　　
　　5.加熱型薄膜規(guī)
　　
　　6.加熱型優(yōu)點(diǎn)
　　
　　l零飄極小0.1%FS/年（干凈真空環(huán)境）
　　
　　l更高的精度
　　
　　l環(huán)境溫度變換/環(huán)境壓力變化/環(huán)境氣流變化對(duì)精度無(wú)影響
　　
　　l比工藝更快的預(yù)熱啟動(dòng)時(shí)間’
　　
　　l快速恢復(fù)時(shí)間大氣壓<1minwithin5mV
　　
　　l任意安裝角度
　　
　　l抗污染，可有效抵抗工藝氣體或工藝產(chǎn)生氣體的腐蝕影響
　　
　　7.電容薄膜規(guī)的應(yīng)用
　　
　　要求高的應(yīng)用條件下，而快速的壓強(qiáng)測(cè)量
　　
　　l用于刻蝕，CVD,PVD,ALD半導(dǎo)體設(shè)備制造，如太陽(yáng)能光伏行業(yè)的PECVD用的很多，刻蝕上一般用陶瓷型的CDG025D-X3比較多，抗污染性能比較好。一般國(guó)內(nèi)用的PECVD還有多晶爐上用的MKS的電容薄膜規(guī)622A/626A/627D和INFICON的CDG025D比較多，如德國(guó)Ruth&Rau公司的PECVD設(shè)備標(biāo)配產(chǎn)品為MKS的626B13TDE和627D01TDC1B,質(zhì)量流量計(jì)用的是1179BX23CR14VSPC1800sccm/SiH4和1179BX5CR14NSPC12000sccm/NH3，國(guó)內(nèi)用的好多PECVD設(shè)備上用的是INFICON的CDG025D。
　　
　　l資料貯存和顯示器制造設(shè)備
　　
　　l工業(yè)真空設(shè)備
　　
　　l常用高精度真空測(cè)量
　　
　　三，熱電離規(guī)
　　
　　1.熱電離規(guī)原理
　　
　　Richardson效應(yīng):高溫?zé)艚z發(fā)射電子，高能量電子撞擊氣體分子，氣體分子的一個(gè)或多個(gè)電子被撞擊出去，形成帶正電的離子
　　
　　1）帶電離子被離子收集極捕捉收集放大輸出
　　
　　2）離子流的大小與氣體壓力成比例關(guān)系
　　
　　2.兩種類(lèi)型熱電離規(guī)
　　
　　3.熱電離型復(fù)合規(guī)
　　
　　lHPG400
　　
　　lBPG400/-SP/-SD/SR
　　
　　lBPG402
　　
　　lBCG450B-A規(guī)，皮拉尼規(guī)，薄膜規(guī)三種型號(hào)復(fù)合在一起
　　
　　l
　　
　　4.優(yōu)點(diǎn)及應(yīng)用
　　
　　lBPG
　　
　　n測(cè)量范圍寬，一個(gè)規(guī)管覆蓋13個(gè)量程5x10-10–1000mbar
　　
　　n精度高，*的重復(fù)性5%
　　
　　n燈絲材料鍍釔的銥絲有*的抗氧化能力，皮拉尼自鎖保護(hù)，使燈絲并不會(huì)因突然暴露大氣而燒毀。
　　
　　n方便的校準(zhǔn)調(diào)節(jié)
　　
　　n注意事項(xiàng)：
　　
　　u對(duì)氣體有選擇性
　　
　　u抗污染能力弱
　　
　　n普遍應(yīng)用于從低到超高真空的測(cè)量
　　
　　n在工業(yè)，半導(dǎo)體，研究行業(yè)應(yīng)用廣泛
　　
　　lBPG402
　　
　　n雙燈絲，大大延長(zhǎng)使用壽命
　　
　　n電離規(guī)的工作可以自定義控制
　　
　　n探頭備件自帶校準(zhǔn)參數(shù)，保證精度與重復(fù)性
　　
　　lHPG400
　　
　　n電離規(guī)與皮拉尼的復(fù)合
　　
　　n皮拉尼自鎖保護(hù)電離規(guī)
　　
　　n電離規(guī)的工作啟動(dòng)點(diǎn)可以一定范圍內(nèi)自定義
　　
　　n簡(jiǎn)易的校準(zhǔn)功能
　　
　　n相對(duì)便宜的價(jià)格
　　
　　lBCG450
　　
　　n可調(diào)的電離規(guī)工作起點(diǎn)
　　
　　n的重復(fù)性
　　
　　n的大氣端測(cè)量
　　
　　四，冷電離規(guī)（潘寧規(guī)）
　　
　　1.冷電離規(guī)原理
　　
　　通過(guò)氣體放電方式產(chǎn)生電子，通過(guò)磁場(chǎng)使電子獲得能量將氣體分子電離
　　
　　2.潘寧規(guī)特點(diǎn)與應(yīng)用
　　
　　l測(cè)量范圍：5x10-9to1x10-2mbar
　　
　　l全金屬密封
　　
　　l無(wú)燈絲
　　
　　l易清洗
　　
　　l應(yīng)用于普通的高真空測(cè)量
　　
　　3.冷規(guī)復(fù)合規(guī)MPG400特點(diǎn)與應(yīng)用
　　
　　l冷規(guī)與皮拉尼規(guī)的復(fù)合
　　
　　l測(cè)量范圍廣：5x10-9-1000mbar
　　
　　l易于保養(yǎng)清洗
　　
　　l無(wú)高真空燈絲，
　　
　　l應(yīng)用于普通高真空測(cè)量
　　
　　4.冷規(guī)及復(fù)合規(guī)性能比較