速來圍觀！多樣化的英福康半導(dǎo)體泄漏檢測解決方案

時間：2024/8/8閱讀：473

從手機、電腦，到汽車、電器，再到醫(yī)療儀器、航空裝備，我們生活中的很多事物都離不開先進(jìn)的半導(dǎo)體技術(shù)，而產(chǎn)量和規(guī)模的不斷增長，也讓芯片制造工藝越來越精密。準(zhǔn)確的泄漏檢測技術(shù)，是確保半導(dǎo)體產(chǎn)品質(zhì)量和提升生產(chǎn)效率的關(guān)鍵。

本文就將為您淺析英福康在半導(dǎo)體泄漏檢測領(lǐng)域多樣化的應(yīng)用場景和產(chǎn)品方案。

應(yīng)用廣泛，全流程覆蓋

1，保持真空

英?？稻_的泄漏檢測方案可確保對半導(dǎo)體工藝至關(guān)重要的真空條件的完整性。即使是極微小的泄漏，也可加以識別和修復(fù)，以確保半導(dǎo)體特性。

2，保持潔凈室條件

使用示蹤氣體進(jìn)行泄漏檢測，可有效防止顆粒和污染物的進(jìn)入，維護(hù)半導(dǎo)體潔凈室嚴(yán)格的潔凈度標(biāo)準(zhǔn)。

3，定位復(fù)雜泄漏

英?？档男孤z測技術(shù)，包括示蹤氣體的使用，可有效識別定位不同配置的復(fù)雜半導(dǎo)體設(shè)備中的各種泄漏。

4，捕捉微小泄漏，保持產(chǎn)品品質(zhì)

精確、高靈敏度的泄漏檢測方案可確保識別極微小的泄漏，以保持半導(dǎo)體制造工藝所需的純度，防止缺陷和確保產(chǎn)品質(zhì)量。

5，材料兼容性

英?？档男孤z測方案與半導(dǎo)體材料兼容，可確保不會損壞或改變半導(dǎo)體制造中所用材料的性能。

6，快速檢測泄漏，實現(xiàn)高產(chǎn)能

英福康提供的可靠泄漏檢測系統(tǒng)能夠以極快的速度獲得可靠的結(jié)果，從而提高半導(dǎo)體制造的產(chǎn)能?？焖僮R別和解決泄漏問題也是最大限度減少停機時間，確保生產(chǎn)效率的關(guān)鍵。

7，與自動化系統(tǒng)集成

英福康的泄漏檢測方案可與自動化系統(tǒng)無縫集成，實現(xiàn)持續(xù)監(jiān)控和即時泄漏響應(yīng)，并有助于提高半導(dǎo)體自動化制造過程的整體設(shè)備效率 (OEE)。

8，經(jīng)濟(jì)高效的解決方案

英福康致力于開發(fā)經(jīng)濟(jì)高效的泄漏檢測解決方案，在準(zhǔn)確性和成本之間取得平衡。

產(chǎn)品多樣，性能良好

英?？邓峁┑挠糜谛崽胶驼婵諜z漏的檢漏儀，被廣泛應(yīng)用在半導(dǎo)體芯片制造、太陽能電池生產(chǎn)線、平板顯示器、玻璃和塑料箔鍍膜以及一般真空系統(tǒng)中。

UL6000 Fab

UL6000 Fab 系列是 UL 移動式氦氣檢漏儀產(chǎn)品組合中的旗艦產(chǎn)品。其專為半導(dǎo)體工廠中的大型工具，以及太陽能電池制造、平板顯示器和片到片或卷到卷（卷筒）涂層中使用的大型涂層工具而設(shè)計。該設(shè)備在所有測量范圍內(nèi)都能提供快速響應(yīng)，測試時間極短，使泄漏檢測更為準(zhǔn)確、高效、簡便。

此外，該設(shè)備的占地面積很小，可確保在對工具空間要求更嚴(yán)格的工廠環(huán)境中，獲得上好的可操作性和足夠的工作空間。

UL3000 Fab