目錄:孚光精儀(中國)有限公司>>表面微納測量>>表面形貌儀>> FPALT-altisurf500三維表面形貌儀
產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,能源,電子,電氣,綜合 |
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三維表面形貌儀是進(jìn)口多功能光學(xué)形貌儀,集成光學(xué)傳感器,實現(xiàn)無接觸地測量樣本。
這種三維表面形貌儀已應(yīng)用于雕刻測量、紋理、拋光或微結(jié)構(gòu)表面狀態(tài),尤其是在制表行業(yè),和激光雕刻領(lǐng)域。
**技術(shù)
彩色共焦
可見光和紅外干涉測量
激光三角測量
所有表面均可測量(粗糙的,透明的,拋光的表面等)
三維表面形貌儀規(guī)格參數(shù)
XYZ行程范圍:100mm x 100mm x 100mm
***大速度:40mm/s
軸向平整度:<1u/100mm
軸向分辨率:0.062um
測量傳感器:非接觸式共聚焦傳感器
測量范圍:100um-25mm
Z軸分辨率:可達(dá)3nm
橫向分辨率:0.9um
臺階高度測量:0.005%
粗糙度測量Ra/Sa: 20nm/20nm
***小測量厚度:4um
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