目錄:孚光精儀（中國）有限公司>> FPGAM-EX50LN窄線寬準(zhǔn)分子激光器
| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,環(huán)保,能源 |
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窄線寬準(zhǔn)分子激光器是專業(yè)為光譜學(xué)應(yīng)用設(shè)計(jì)的窄光譜帶寬準(zhǔn)分子激光器,非常適合光刻,激光計(jì)量,熒光光譜,拉曼光譜,FBG等應(yīng)用。
窄線寬準(zhǔn)分子激光器采用穩(wěn)定的非選擇性諧振腔提供純凈光譜輸出,例如ArF準(zhǔn)分子激光器的帶寬約500pm,我們還可以在諧振腔內(nèi)插入波長色散元件提供更窄線寬的表現(xiàn)，比如光譜線寬可到0.08pm,具有更好的相干性能。
窄線寬準(zhǔn)分子激光器EX50LN采用超級INVAR穩(wěn)定諧振腔技術(shù)獲得穩(wěn)定的激光性能,248nm激光的相干長度可達(dá)7cm，并且具有良好的指向穩(wěn)定性,非常適合長相干長度的激光激光應(yīng)用，比如FBG制造.
這款窄線寬準(zhǔn)分子激光器采用一系列創(chuàng)新性技術(shù),包括電暈預(yù)電離技術(shù)，全金屬/陶瓷設(shè)計(jì)，提供超長靜態(tài)氣體壽命和動態(tài)氣體壽命。這款準(zhǔn)分子激光器還采用內(nèi)置真空泵和鹵素過濾器,不需要額外的真空器件即可獨(dú)立工作,
窄線寬準(zhǔn)分子激光器可以通過計(jì)算機(jī)配套軟件控制,軟件可自動控制穩(wěn)定激光輸出，可提示用戶激光器壽命和維護(hù)時間。
窄線寬準(zhǔn)分子激光器規(guī)格參數(shù)EX50LN Specifications
| 工作物質(zhì) | F2 | ArF | KrF | XeCl | XeF |
| 中心波長 nm | 157 | 193.3 | 248.35 | 308-311 | 351, 533 |
| 最大能量mJ. <1pm | 2 | 4 | 2 | 2 | |
| 最大能量mJ. <0.35pm | 1 Line | 0.75 | 2 | ||
| 波長調(diào)諧范圍 pm | +/- 200 | +/-200 | N/A | ||
| 平均功率@125Hz | 0.30 | .25 | 0.3 | 0.3 | |
| 平均功率 @250Hz | 0.5/1 | .5/1 | 0.50 | 0.5 | |
| 平均功率@500Hz | 1/2 | 1/2 | 1.0 | ||
| 功率穩(wěn)定性 % | Call | <3% | |||
動態(tài)氣體壽命 | 10E6 | 12E6 | 15E6 | 20E6 | 15E6 |
| 靜態(tài)氣體壽命 （50%脈沖能量） | 10 days | 20 days | 30 days | 90 Days | 30 Days |
| 脈寬, ns | 14-18 | ||||
| 光束直徑, mm | 9 X 4 | ||||
| 發(fā)散角, mRad （全角） | 0.8 X 1.6 | ||||
| 激光管壽命 | 2-3 Billion Pulses | ||||
| 窗口壽命 | 200E6 | >500E6 | >500E6 | ||
| 制冷 | 空氣/水 | ||||
其它窄線寬準(zhǔn)分子激光器 EX5ALN Specifications
| 工作物質(zhì) | ArF | KrF |
| 激光波長, nm | 193 | 248 |
| 最大能量, mJ | 5 | 15 |
| 線寬 pm | 25 | 20 |
| 光束形狀 | 高斯光束 | |
| 波長調(diào)諧 | +/-200pm | +/-200pm |
| 平均功率W @ 25Hz | 0.1 | 0.3 |
| 平均功率W @ 250Hz | 1.0 | 2.5 |
| 最大重復(fù)頻率. Hz | 25/250 | |
| 穩(wěn)定性 | <3% 1 Sigma | |
| 靜態(tài)氣體壽命 50%能量 | 3 days | 10 days |
| 脈寬 nS | 8 | |
| 穩(wěn)定性 | <3% One Sigma | |
| 激光管壽命 | 1000 Million Pulses | |
| 光束尺寸, mm | 3X 6 | |
| 發(fā)散角（全角）, mRad | 1 X 2 | |
| 制冷 | AIR | |
| 抖動 | 2nS | |
| 重量 | 16kg | |
其它窄線寬準(zhǔn)分子激光器 EX10AR Specifications
| 工作物質(zhì) | ArF | KrF |
| 波長, nm | 193nm | 248nm |
| 最大能量., mJ | 20mJ | 26mJ |
| 線寬, pm | <20pm | <20pm |
| 光束形狀 | 高斯光束 | |
| 波長調(diào)諧范圍 | +/-200pm | +/-200pm |
| 平均功率W@ 25Hz | 0.1 | 0.3 |
| 平均功率W @ 250Hz | 1.0 | 2.5 |
| 重復(fù)頻率 Hz | 25/250 | |
| 穩(wěn)定性 | <3% 1 Sigma | |
| 靜態(tài)氣體壽命50%能量 | 3 days | 10 days |
| 脈寬 nS | 8 | |
| 穩(wěn)定性 | <3% One Sigma | |
| 激光管壽命 | 1000 Million Pulses | |
| 光束尺寸, mm | 3X 6 | |
| 發(fā)散角（全角）, mRad | 1 X 2 | |
| 制冷 | 空氣 | |
| 時間抖動 | 2nS One Sigma | |
| 重量 | 16kg | |
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