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Kleindiek納米操縱儀是為外部電子顯微學(xué)制備樣品而設(shè)計的超精密樣品拾取裝卸系統(tǒng),它在納米尺度靈活微操縱樣品。
Kleindiek納米操縱儀安裝
安裝有一根微夾鉗,一個四軸輔臺,在表面有一個允許快速接近的小型CCD攝像頭。Kleindiek納米操縱儀是由安裝在一個超小型平臺上的一個四軸輔臺構(gòu)成。在輔臺上安裝了一個微夾鉗,促進(jìn)提取。操作該輔臺將預(yù)切樣品放置在微夾鉗下。在這之后,微夾鉗夾住樣品并輕輕地固定住樣品,固定要足夠牢固,只要使輔臺向旁邊下落,就可以將樣品從大量材料提取出。一旦分離,在TEM網(wǎng)格上,將樣品與SEM兼容膠水接觸,并且用離子束固化。
取樣室兼容平臺上的輔臺
最大樣品尺寸:30mm
行程:X和Y =10mm
行程:Z軸為3mm
行程:R =360°(無限)
速度:可達(dá)1mm/秒
分辨率:<0.5nm
笛卡爾運動
沒有反彈或翻轉(zhuǎn)
是大多數(shù)SEM和FIB工具的簡單取樣室裝置
幾乎不受震動影響
微夾鉗
運輸和組裝微型物體的高分辨率夾持器
抓握區(qū)域:(5至10 µm)
分辨率:20nm
夾持力:5至5000μN(變量)
最大跨度范圍:20?40 µm
SemCam
樣品表層的小相機
允許快速接近
包括顯示器和LED照明
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