目錄:孚光精儀(中國)有限公司>>激光微納加工系統(tǒng)>>飛秒激光光刻機系統(tǒng)>> WOP-laser litho飛秒激光直寫光刻系統(tǒng)
這款飛秒激光直寫光刻系統(tǒng),laser lithography system是專業(yè)為微納結(jié)構(gòu)光蝕刻而設計的激光直寫光刻機。飛秒激光直寫光刻系統(tǒng)基于多光子聚合技術(shù)(multi photon polymerization, mPP),適合市場上的各種光刻膠(photoresists),能夠以納米精度和分辨率微納加工各種三維結(jié)構(gòu),是的激光光刻機.
激光光刻機3D模型制備
直寫光刻機直接激光刻劃
激光光刻機整套系統(tǒng)到貨即可使用
激光光刻機提供100nm-10um的分辨率
直寫光刻機超小尺寸
飛秒激光直寫光刻系統(tǒng),laser lithography system制備
這套飛秒激光直寫光刻系統(tǒng),laser lithography system由激光微加工系統(tǒng)軟件控制,簡單的3D模型通過這種軟件即可生成,對于比較復雜的3D模型,用戶可以通過Autodesk, AutoCAD等軟件制作,然后導入到三維光刻機的軟件中,這個軟件支持.stl, dxf等格式的文件用于3D結(jié)構(gòu)的制造。
飛秒激光直寫光刻系統(tǒng),laser lithography system激光直接讀寫
這套激光光刻機由飛秒激光光源,精密的3軸定位臺和掃描鏡組成。首先,待刻錄的圖形通過激光光刻機精密的激光聚焦系統(tǒng)直接從CAD設計中導入到光刻膠上。聚合物的雙光子或多光子吸收用于形成
• Nanophotonic devices (3D photonic crystals)激光光刻機用于納米光子器件(三維光子晶體)
• Microfluidics 三維光刻機用于微流控芯片
• Microoptics (lenses, structures on an optical fiber tip, etc.)三維光刻機用于微光學(光學端面微結(jié)構(gòu)制作)
• Micromechanics 激光光刻機制作機微機械
• Micro-Opto-Electromechanical Systems (MOEMS) 激光蝕刻機制作微型光機電系統(tǒng)
• Biomedicine 激光光刻機,三維光刻機用于生物醫(yī)學