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這套超快激光非晶硅激光刻膜機是特別為太陽能產(chǎn)業(yè)光伏工業(yè)而設(shè)計的整套飛秒激光刻膜機系統(tǒng)。可用于光伏電池激光加工,激光去除氮化硅膜,氮化硅膜激光蝕刻,晶圓邊緣隔離，有可以當作激光刻膜機,激光劃片機使用。
這套非晶硅電池激光刻膜機采用*的紫外飛秒激光和紅外納秒激光，可以同時提供如下四合一服務(wù)：
—  SiNx/SiO2去除,
     去除二氧化硅,去除氮化硅        
     邊緣隔離晶圓    
     背接觸激光燒結(jié)和激光刻槽    
     激光打標

其中紫外飛秒激光用于SiNx/SiO2的選擇性燒蝕或切除(氮化硅膜蝕刻),配備的紫外飛秒激光可以非常精密地剝蝕SiNx(去除氮化硅膜),同時在Si層的直接或熱效應(yīng)降低到zui低，從而增加載流子壽命（少子壽命）,避免微裂紋。而配備的1064nm的納秒激光工作非常穩(wěn)定而快速，將用于晶片的快速激光邊緣隔離，激光打標和激光燒結(jié)。
該非晶硅激光刻膜機配備自動處理和掃描系統(tǒng)，支持5’’和6’’直徑的硅晶片加工。同時配備機械視覺系統(tǒng)以隨時調(diào)節(jié)激光束掃描,保持高度重復性和可靠性。
該非晶硅電池激光刻膜機配1級激光安裝防護裝置和灰塵消除系統(tǒng)，營造無塵加工環(huán)境，以保證飛秒激光的精密燒蝕和熱效應(yīng)影響的zui小化。

非晶硅電池激光刻膜機特色
· 配備的激光器處理能力高達800個晶片/小時或350000px/s
· 加工量為425個晶片/小時,優(yōu)化后可用于2.5MW/a產(chǎn)品的生產(chǎn)線
· 適用5'’和6''硅晶片  紫外飛秒激光和紅外納秒激光光源
· 機械視圖系統(tǒng)可調(diào)節(jié)激光掃描場
·  精密激光光束定位
· 激光劃線激光剝蝕激光熔化
非晶硅電池激光刻膜機成功經(jīng)歷
· 為用戶提供了無銀敷金屬技術(shù)生產(chǎn)太陽能電池
· 成功地裝配到生產(chǎn)能力高達2.5MWp/a的生產(chǎn)線上。