結(jié)合高溫真空氣氛爐的實(shí)驗(yàn)工藝要求進(jìn)行的操作過程
1．打開高溫真空氣氛爐爐門取出隔熱屏，放入處理物品于高溫區(qū)內(nèi)，再將隔熱屏放好，關(guān)閉爐門鎖緊，并關(guān)好所有閥門。
2．接通氣氛管式爐電源，打開循環(huán)水。
3．高溫真空氣氛爐操作使用方法：
?、匍_機(jī)械泵，開真空閥，抽真空至真空壓力表達(dá)到-0.1mPa后關(guān)閉真空閥。
?、陂_保護(hù)氣體減壓閥，開真空閥，對爐膛充氣，使真空壓力表回至“0”后，關(guān)閉真空閥。
?、壑貜?fù)步驟①和②三次，使?fàn)t膛內(nèi)的空氣被排盡。
?、荜P(guān)機(jī)械泵。對爐膛充氣使真空壓力表回至“0”后，打開放氣閥，調(diào)節(jié)微調(diào)閥，使氣體流量穩(wěn)定，出氣端水泡連續(xù)。
?、輰t膛進(jìn)行加溫，應(yīng)按“調(diào)節(jié)儀”進(jìn)行，結(jié)合實(shí)驗(yàn)工藝要求操作。
?、迣?shí)驗(yàn)結(jié)束，爐子溫度降至實(shí)驗(yàn)工藝要求范圍后，先關(guān)閉放氣閥，在關(guān)閉真空閥，關(guān)微調(diào)閥和氣體減壓閥。
?、哧P(guān)閉總電源、循環(huán)水（一般爐溫小于60℃，關(guān)閉循環(huán)水）。
高溫真空氣氛爐的注意事項(xiàng)：
1、清化jia(KCN)不可與酸類混置，因兩者可產(chǎn)生劇毒之KCN氣體。
2、除了做實(shí)驗(yàn)外，不要停留在高溫爐管區(qū)。
3、一旦發(fā)現(xiàn)有妨礙安全之事物時，請立即通知有關(guān)人員(技術(shù)員等)。
4、請節(jié)約純水用量。
5、實(shí)驗(yàn)工作完畢時，若無人繼續(xù)使用，請關(guān)特殊氣體，保留N2流動，爐管保持在standby溫度，并查看是否有其它電源該關(guān)而沒有關(guān)，如:cleanhood燈光、煮酸用的小電爐或其它，請隨手關(guān)掉。
6、處理HF時，請戴手套，如不小心碰到HF時，請立刻沖水，用葡萄酸鈣加2%之水，揉擦傷處15'。
7、長短推桿之前端，在還沒使用到時，請朝上以免污染。
8、晶片進(jìn)出爐口時，承接boat的holder，請勿碰觸爐管口，以免污染爐管。
9、石英玻璃制品請小心使用，以免破裂，引起嚴(yán)重割傷。
10、避免吸入從爐子或處理槽所冒出之各種氣體。
11、破晶片、濾紙、棉花棒等，請勿掉入清洗槽的底部排水孔，以免因排水不良造成地板漬水。
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