非接觸式電阻測試可保證被測試材料的實(shí)際薄膜電阻值偏差不超過 3%。以下圖表所展示的是根據(jù) 10 NIST、VLSI 和 MSA 標(biāo)準(zhǔn)測試的 Delcom 計(jì)量器。
非接觸式電阻測試設(shè)備模塊：20J3 傳感器和 873 接口模塊
1. 方塊電阻薄膜電阻測量儀使用的渦流技術(shù)的優(yōu)點(diǎn)有：
•無損
•通過絕緣層讀取
•測量移動材料
•幾乎瞬時讀數(shù)
•提供實(shí)時工序檢查
2. 降低產(chǎn)品和人工成本
•自動化測試——不再需要手動探測
•無損檢測 100% 材料
•發(fā)生涂層問題時立即解決
•避免進(jìn)一步處理超出規(guī)格的材料
3. 薄膜電阻測量儀配置特色
•測量薄膜電導(dǎo)率、薄膜電阻、厚度(已知電阻系數(shù))和電阻率(已知厚度)
•簡易單按鈕操作
•通過 LCD、軟件、瀏覽器或 PC 應(yīng)用程序進(jìn)行讀取
•交換其他類型和范圍的傳感器
•通過一個接口模塊和軟件一次使用蕞多12 個傳感器
•軟件包括自動采樣檢測、讀取、記錄、手動映射、合格/不合格以及. csv 文件和 Microsoft Excel 的導(dǎo)出
•通過 Modbus 和基于網(wǎng)絡(luò)的應(yīng)用程序遠(yuǎn)程讀取并控制傳感器
•單點(diǎn)式、分離式、卡尺式傳感器
•占用內(nèi)存少
•校準(zhǔn)計(jì)量器不到一分鐘即可完成
•溫度漂移自動補(bǔ)償
4. 薄膜電阻測量儀規(guī)格
材料接觸范圍： 20 cm
傳感器間隙： 3 mm
蕞小樣本尺寸： 3 cm 直徑圓
空間分辨率： 3 cm 直徑圓
響應(yīng)率： 40 ms
5. 用途
設(shè)計(jì)用于玻璃、晶片、膠片等，其中包括：
•觸摸屏、平板屏、ITO、TCO 等。
•碳納米管、石墨烯、銀納米線等。
•半導(dǎo)體材料
•光伏材料
•建筑玻璃(低輻射)、智能玻璃
•OLED 和 LED 應(yīng)用
•包裝、裝飾膜/紙、金屬標(biāo)簽、微波感應(yīng)器、反光材料
•撓性電路和柔性電路板
•金屬電容器箔
•低觀測量
•電池和燃料電池
•除冰和加熱產(chǎn)品
•天線
•防靜電膜
6. 計(jì)量范圍
Delcom 薄膜電阻測量儀可在四個范圍之一使用。
×10：5 至 10 萬歐姆/平方
×1：0.5 至 1 萬歐姆/平方
÷10：0.05 至 1 千歐姆/平方
÷100：0.005 至 100 歐姆/平方
7. 精確度
——與美國國家標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)研究所 (NIST: National Institute of Standards and Technology) 的標(biāo)準(zhǔn)相比，Delcom 計(jì)量器校準(zhǔn)后精確度達(dá)到 99.9% 以上 。用戶在一分鐘內(nèi)可采用一個標(biāo)準(zhǔn)校準(zhǔn)一個計(jì)量器。
8. 分辨率
——在所有四個計(jì)量器范圍的各個數(shù)量級都有可用的有效數(shù)字
9. 線性
——Delcom 可保證被測試材料的實(shí)際薄膜電阻值偏差不超過 3%。以下圖表所展示的是根據(jù) 10 NIST、VLSI 和 MSA 標(biāo)準(zhǔn)測試的 Delcom 計(jì)量器。
10. 可重復(fù)性
——如果采樣位置和環(huán)境因素(比如，溫度)保持不變，則 Delcom 計(jì)量器讀數(shù)有效可重復(fù)率可達(dá)到 99.9%。
11. 溫度補(bǔ)償
——渦流儀器的基線讀數(shù)隨環(huán)境溫度的變化而漂移。Delcom 臺式傳感器可獲得溫度補(bǔ)償，因此它們的漂移量不會超過每小時每攝氏度總分辨率的 0.04%。
12. 仰角對讀取的影響
——傳感器間隙中導(dǎo)電層的仰角可影響計(jì)量器讀數(shù)。這種影響可在使用儀器臺過程中、自動進(jìn)行距離探測器補(bǔ)償，或者在已知材料仰角校準(zhǔn)計(jì)量器時發(fā)生。
13. 系統(tǒng)要求
電源輸入：100–120/200–250 VAC
頻率： 60/50 Hz
功耗： 1.0/0.5 A
溫度范圍： 10°C–60°C
14. 尺寸和重量
20J3 傳感器： 33 × 5 × 5 cm, 1 kg
20J3 儀器臺： 55 × 47 × 8 cm, 10 kg
873 接口模塊： 22 × 18 × 10 cm, 2 kg
20J3 儀器臺可供運(yùn)輸包裝： 61 × 61 × 16 cm, 13 kg
20J3 和 873 可供運(yùn)輸包裝： 46 × 41 × 21 cm, 9 kg
15. 薄膜電阻測量儀 20J3 儀器臺
——可選儀器臺，用于精確采樣控制。
16. DELCOM 軟件
——可選軟件包括為普通用戶應(yīng)用程序優(yōu)化的五種不同模式。
17. 選件和升級
——所有選件和升級都可以在原始設(shè)備上購買，并且購買后至少一年。
(1)基于PC的軟件升級：
此配置不需要軟件即可運(yùn)行；但是，Delcom的軟件是非常有價值的工具。Delcom的功能強(qiáng)大的軟件具有許多有用的功能，允許用戶設(shè)置通過/失敗閾值，一次監(jiān)視多個傳感器，保存數(shù)據(jù)以進(jìn)行進(jìn)一步分析等等。它旨在使常見任務(wù)盡可能流暢，直觀和容易。該軟件需要運(yùn)行Windows XP或更高版本操作系統(tǒng)的PC。
(2)以太網(wǎng)功能升級：
此選項(xiàng)用于與PLC或其他過程控制系統(tǒng)集成。它可以通過以太網(wǎng)對多達(dá)六個傳感器進(jìn)行權(quán)面的遠(yuǎn)程讀取和控制。它還包括一個功能齊全的網(wǎng)站，用于診斷和設(shè)置。
(3)附加傳感器：
873接口模塊蕞多可容納12個傳感器。用戶可能希望購買其他傳感器，以增加整個系統(tǒng)的范圍或在兩個或多個物理位置進(jìn)行測量。
(4)20J3測量平臺：
該傳感器設(shè)計(jì)為無需平臺即可使用。但是，對于需要高精確度的應(yīng)用，建議使用平臺。該平臺將使導(dǎo)電層的高度在傳感器間隙中保持一致，并允許材料在傳感器中進(jìn)行更好的xy定位。
(5)真空包裝：
傳感器已準(zhǔn)備好抽真空；但是，對于真空應(yīng)用，將需要可選的真空就緒電纜，支架和饋通件。
(6)可選計(jì)算機(jī)：
如果需要，Delcom可以為客戶提供筆記本電腦，臺式機(jī)，平板電腦或工業(yè)觸摸屏PC。
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