當(dāng)前位置:岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司>>EVG納米壓印機(jī)>>納米壓印母版制作系統(tǒng)>> EVG770 NTDymek岱美儀器分步重復(fù)納米壓印光刻機(jī)
納米壓印機(jī)是一種科研設(shè)備,利用納米壓印技術(shù)將預(yù)制的模具圖案轉(zhuǎn)移到工件上,以制作出納米級(jí)別的微結(jié)構(gòu)。它是納米制造技術(shù)的一種,被廣泛應(yīng)用于納米電子、納米光子學(xué)、納米生物技術(shù)、微電機(jī)械系統(tǒng)等領(lǐng)域。
1. 簡(jiǎn)介
我們的EVG770分步重復(fù)納米壓印光刻機(jī)是用于步進(jìn)式納米壓印光刻的通用平臺(tái),可用于有效地進(jìn)行母版制作或?qū)迳系膹?fù)雜結(jié)構(gòu)進(jìn)行直接圖案化。這種方法允許從蕞大50 mm x 50 mm的小模具到蕞大300 mm基板尺寸的大面積均勻地復(fù)制模板。結(jié)合金剛石車削或直接寫入方法,分步重復(fù)刻印通常用于有效地制造晶圓級(jí)光學(xué)器件制造或EVG的SmartNIL工藝所需的母版。
2. 納米壓印設(shè)備主要應(yīng)用
主要使用連續(xù)重復(fù)的納米壓印光刻技術(shù),可進(jìn)行有效的母版制作(例如:微鏡頭制作)。
3. 特色
EVG770的主要功能包括精確的對(duì)準(zhǔn)功能,全緬的過程控制以及可滿足各種設(shè)備和應(yīng)用需求的靈活性。
4. 納米壓印機(jī)參數(shù)特征
1)高效的晶圓級(jí)光學(xué)微透鏡主制造,直至SmartNIL的納米結(jié)構(gòu)®
2)簡(jiǎn)單實(shí)施不同類型的主機(jī)
3)可變抗蝕劑分配模式
4)分配,壓印和脫模過程中的實(shí)時(shí)圖像
5)用于壓印和脫模的原位力控制
6)可選的光學(xué)楔形誤差補(bǔ)償
7)可選的自動(dòng)盒帶間處理
5. EVG770技術(shù)數(shù)據(jù)
1)晶圓直徑(基板尺寸):100至300毫米
2)解析度:≤50 nm(分辨率取決于模板和工藝)
3)支持的工藝:軟UV-NIL納米壓印
4)曝光源:大功率LED(i線)> 100 mW /cm2
5)對(duì)準(zhǔn):頂面顯微鏡,用于實(shí)時(shí)重疊校準(zhǔn)≤±500 nm和精細(xì)校準(zhǔn)≤±300 nm
6)弟一個(gè)印刷模具到模具的放置精度:≤1微米
7)有效印記區(qū)域:長(zhǎng)達(dá)50 x 50毫米
8)自動(dòng)分離:支持
9)預(yù)處理功能:涂層:液滴分配(可選)
6. 納米壓印工藝結(jié)果
圖1 微鏡頭
圖2 納米壓印結(jié)果(100納米分辨率)