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白光干涉儀介紹：
NanoX-2000/3000系列、3D光學白光干涉儀建立在移相干涉測量(PSI)、白光垂直掃描干涉測量(VSI)和單色光垂直掃描干涉測量(CSI)等技術(shù)的基礎(chǔ)上，以其納米級測量準確度和重復性(穩(wěn)定性)定量地反映出被測件的表面粗糙度、表面輪廓、臺階高度、關(guān)鍵部位的尺寸及其形貌特征等。廣泛應(yīng)用于集成電路制造、MEMS、航空航天、精密加工、表面工程技術(shù)、材料、太陽能電池技術(shù)等領(lǐng)域。
白光干涉儀產(chǎn)品優(yōu)勢：
1、美國硅谷研發(fā)的核心技術(shù)和系統(tǒng)軟件。
2、關(guān)鍵硬件采用美國、德國、日本等。
3、PI納米移動平臺及控制系統(tǒng)。
4、Nikon干涉物鏡。
5、NI信號控制板和Labview64 控制軟件。
6、TMC光學隔振臺。
7、測量準確度重復性達到不錯的水平(中國計量科學研究院證書)。
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白光干涉儀使用時需要注意以下幾個方面的問題：
1、環(huán)境條件：對環(huán)境光線和振動非常敏感，因此在使用時需要在低光照和無振動的環(huán)境中操作，最好在光學實驗室等特殊環(huán)境中使用。
2、樣品準備：在放置樣品之前，需要確保樣品表面干凈、平整，避免雜質(zhì)或污垢影響測量結(jié)果。
3、對準調(diào)節(jié)：在使用白光干涉儀進行測量之前，需要精確對準儀器并調(diào)節(jié)焦距，以確保能夠獲得清晰、準確的干涉圖像。
4、操作注意：操作時要小心移動和調(diào)節(jié)儀器部件，避免碰撞或損壞儀器；同時注意調(diào)節(jié)干涉儀的參數(shù)和光源強度，以獲得最佳的測量結(jié)果。
5、結(jié)果分析：在獲得干涉圖像后，需要對結(jié)果進行分析和解釋，以確定樣品表面的形狀和質(zhì)量，同時注意誤差的可能來源并進行修正。
