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1022次FR-Scanner-AIO-Mic-XY200是一款集成了顯微鏡的自動薄膜厚度測繪系統(tǒng)，用于全自動圖案化晶圓上的單層和多層涂層厚度測量。電動X-Y載物臺提供適用尺寸 200mm x 200mm的行程，可在 200-1700nm 光譜范圍內(nèi)提供各種光學配置。
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