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項目說明單位部件號
1 頂空隔墊固定螺帽18740-60830
隔墊固定螺帽18740-60835
2 11 mm 不粘連BTO 隔墊50/包5183-4757
3 插件焊件標(biāo)準(zhǔn)手控氣動裝置19251-60575
使用1/4 英寸分流出口過濾器的原裝標(biāo)準(zhǔn)EPC G1544-60575
除允許插入1/4 英寸化學(xué)過濾器用于清洗ECD 操作的
載氣外，類似于G1544-60575 G1544-80580
S/SL 插入焊件。與大型活性炭罐型過濾器配合使用，
用于6890/6850 G1544-60585
除載氣管線與G1540A 儀器的閥系統(tǒng)接口分開外，類
似于G1544-60575 G1580-60575
用于G1540A 帶閥系統(tǒng)選項的分流/不分流插入組件。
這種插入組件使用大型活性炭罐分流出口過濾器，用
于6890/6850
G1580-60585
4 用于分流襯管的石墨O 形圈10/包5180-4168
不粘連碳氟O 形圈10/包5188-5365
用于不分流襯管的石墨O 形圈10/包5180-4173
5 分流襯管，細(xì)徑錐，低壓降，玻璃棉1/包
25/包
5183-4647
5183-4647
不分流襯管，單細(xì)徑錐1/包
25/包
5181-3316
5183-4696
6 分流排放捕集阱工具包1 G1544-60610
用于部件號G1544-60610 的更換柱芯G1544-80530
分流出口捕集阱組件G1544-80550
7 固定螺帽G1544-20590
8 不銹鋼密封墊18740-20880
鍍金密封件工具包，包括墊圈2
用于更換18740-20885
5188-5367
鍍金密封件，帶十字孔3 5182-9652
9 墊圈，外徑0.375 12/包5061-5869
10 縮徑接頭18740-20800

耗材