鵬宸電氣空壓機(jī)用擴(kuò)散硅壓力變送器

擴(kuò)散硅壓力變送器選用高精度、高穩(wěn)定性壓力傳感器組件，經(jīng)過(guò)高可靠性的放大電路及精密溫度補(bǔ)償，將被測(cè)介質(zhì)的絕壓或表壓轉(zhuǎn)換成4~20mA，0~5VDC，0~10VDC及1~5VDC等標(biāo)準(zhǔn)電信號(hào)。高質(zhì)量的傳感器、全密封焊接的封裝技術(shù)以及完善的裝配工藝確保了該產(chǎn)品的優(yōu)異質(zhì)量和非常佳性能。該產(chǎn)品有多種接口形式和多種引線方式，能夠非常大限度的滿足客戶的需要，適用于與各種測(cè)量控制設(shè)備配套使用。

全密封焊接結(jié)構(gòu) 防雷擊 防射頻干擾

小體積 高穩(wěn)定性 高靈敏度

多種量程選擇 用戶方便調(diào)試

采用進(jìn)口擴(kuò)散硅傳感器 抗擾強(qiáng)

長(zhǎng)期穩(wěn)定性好 高精度 全不銹鋼結(jié)構(gòu)

316不銹鋼隔離膜片構(gòu)

作為四種傳感器芯體的其中之一的擴(kuò)散硅芯體已經(jīng)越來(lái)越廣泛的應(yīng)用到壓力傳感器生產(chǎn)運(yùn)用中，所以有必要了解其工作原理及使用中該注意的一些事項(xiàng)，下面作個(gè)簡(jiǎn)單說(shuō)明：

一、 一般介紹：

硅單晶材料在受到外力作用產(chǎn)生極微小應(yīng)變時(shí)（一般步于400微應(yīng)變），其內(nèi)部原子結(jié)構(gòu)的電子能級(jí)狀態(tài)會(huì)發(fā)生變化，從而導(dǎo)致其電阻率劇烈變化（G因子突變）。用此材料制成的電阻也就出現(xiàn)大變化，這種物理效應(yīng)稱為壓阻效應(yīng)。利用壓阻效應(yīng)原理，采用集成工藝技術(shù)經(jīng)過(guò)摻雜、擴(kuò)散，沿單晶硅片上的特點(diǎn)晶向，制成應(yīng)變電阻，構(gòu)成惠斯凳電橋，利用硅材料的彈性力學(xué)特性，在同一切硅材料上進(jìn)行各向異性微加工，就制成了一個(gè)集力敏與力電轉(zhuǎn)換檢測(cè)于一體的擴(kuò)散硅傳感器。給傳感器匹配一放大電路及相關(guān)部件，使之輸出一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)信號(hào)，就組成了一臺(tái)完整的壓力變送器。

二、 技術(shù)特點(diǎn)：

1、 靈敏度高

擴(kuò)散硅敏感電阻的靈敏因子比金屬應(yīng)變片高50~80倍，它的滿量程信號(hào)輸出在80-100mv左右。對(duì)接囗電路適配性好，應(yīng)用成本相應(yīng)較低。由于它輸入激勵(lì)電壓低，輸出信號(hào)大，且無(wú)機(jī)械動(dòng)件損耗，因而分辯率*。

3、 可靠性高

擴(kuò)散硅敏感膜片的彈性形變量在微應(yīng)變數(shù)量級(jí)，膜片z大位移量在來(lái)微米數(shù)量級(jí)，且無(wú)機(jī)械磨損，無(wú)疲勞，無(wú)老化。平均*時(shí)間長(zhǎng)，性能穩(wěn)定，可靠性高。

2、 精度高

擴(kuò)散硅壓力傳感器的感受、敏感轉(zhuǎn)換和檢測(cè)三位一體，無(wú)機(jī)械動(dòng)件連接轉(zhuǎn)換環(huán)節(jié)，所以不重復(fù)性和遲滯誤差很小。由于硅材料的剛性好萊塢，形變小，因而傳感器的線性也非常好。因此綜合表態(tài)精度很高。

4、頻響高

由于敏感膜片硅材料的本身固有頻率高，一般在50KC。制造過(guò)程采用了集成工藝，膜片的有效面積可以很小，配以剛性結(jié)構(gòu)前置安裝特殊設(shè)計(jì)，使傳感器頻率響應(yīng)很高，使用帶寬可達(dá)零頻至100千赫茲。

6、 抗電擊穿性能好

由于采用了特殊材料和裝配工藝，擴(kuò)散硅傳感器不但可以做到130℃正常使用，在強(qiáng)磁

場(chǎng)、高電壓擊穿試驗(yàn)中可抗擊1500V/AC電壓的沖擊壓力變送器。

5、 度性能好

隨著集成工藝技術(shù)進(jìn)步，擴(kuò)散硅敏感膜的四個(gè)電阻一致性得到進(jìn)一步提高，原始的手工

補(bǔ)償已被激光調(diào)阻、計(jì)算機(jī)自動(dòng)休整技術(shù)所替代，傳感器的零位和靈敏度溫度系數(shù)已達(dá)10-5

/℃數(shù)量級(jí)，工作溫度也大幅度提高。

7、 耐腐蝕性好

由于擴(kuò)散硅材料本身優(yōu)良的化學(xué)防腐性能好，即使傳感器受壓面不隔離，出能在普通使

用中適應(yīng)各種介質(zhì)。硅材料又與硅油有良好的兼容性，使它在采用防腐材料隔離時(shí)結(jié)構(gòu)工藝更易于實(shí)現(xiàn)。加之它的低電壓、低電流、低功耗、低成本和本質(zhì)安全防爆的特點(diǎn)，可替代諸多同類型的同功能產(chǎn)品

鵬宸電氣空壓機(jī)用擴(kuò)散硅壓力變送器

三、 選項(xiàng)型提要

1、 傳感器、變送器的選擇

用戶根據(jù)自己所測(cè)壓力的性質(zhì)，首先應(yīng)確定選擇表壓（相對(duì)于當(dāng)?shù)卮髿鈮海⒉顗?、壓力或?fù)壓品種。如果測(cè)量液位，還要確定液位上方是自由大氣壓還是密封容器壓力。如果測(cè)量密封承壓容器內(nèi)的液位就應(yīng)該選用差壓產(chǎn)品。

2、 產(chǎn)品量程的確定

從產(chǎn)品安全考慮，一般選擇使工作壓力值在標(biāo)準(zhǔn)量程值的60%-80%為宜，整個(gè)測(cè)

量系統(tǒng)中可能出現(xiàn)的異常情況所導(dǎo)致的過(guò)載壓力不得超過(guò)產(chǎn)品允許的z大過(guò)載。測(cè)量動(dòng)態(tài)管路液體壓力時(shí)，還應(yīng)考慮水垂效應(yīng)，適當(dāng)增大產(chǎn)品載量，亦可向我所進(jìn)行技術(shù)咨詢。

3、 產(chǎn)品精度選擇

產(chǎn)品等級(jí)按多項(xiàng)參數(shù)分檔，檔級(jí)越高，價(jià)格越貴。用戶可依據(jù)所檢測(cè)工況要求各項(xiàng)和某

單項(xiàng)參數(shù)精度指標(biāo)，以便用較低的價(jià)格實(shí)現(xiàn)較高的精度要求。產(chǎn)品給出的三項(xiàng)精度指標(biāo)是采用z小二乘法或端基平移法計(jì)算的。選用傳感器時(shí)。精度等級(jí)確定應(yīng)根據(jù)測(cè)量系統(tǒng)分配發(fā)給傳感器的z大誤差選項(xiàng)取。有時(shí)還應(yīng)考慮零位時(shí)漂、零位和滿度溫度系數(shù)帶入的附加誤差。

5、 差壓傳感器、變送器的選擇

通用差壓傳感器、變送器通常使用在高壓端壓力高于低壓端壓力的正差壓情況下，雖然擴(kuò)散硅傳感器都可同樣用于負(fù)差壓，一般兩引壓端基本對(duì)稱，但負(fù)壓端一般不另標(biāo)定，如用戶要求兩引壓端高對(duì)稱性，需特別告知。低壓端在系統(tǒng)中有可能出現(xiàn)的超負(fù)量程使用，此時(shí)需與我公司協(xié)商。

6、頻響特性

擴(kuò)散硅傳感器固有頻率相對(duì)于其它產(chǎn)品較高，除此之外更多的情況是傳感器結(jié)構(gòu)的引壓腔結(jié)構(gòu)參數(shù)影響和傳感器結(jié)構(gòu)基體剛體的尺寸影響，后者不可能不限長(zhǎng)，故主要還是引壓腔影響，用戶定貨時(shí)可與我公司協(xié)商解決。

7、與被測(cè)介質(zhì)的匹配

傳感器、變送器接囗和電子殼體由多種不同的結(jié)構(gòu)材料生產(chǎn)。具有不同的介質(zhì)兼容性，

為了獲得*的使用效果，不致因介質(zhì)不匹配而使產(chǎn)品損壞，用戶在選型定貨時(shí)應(yīng)明白介質(zhì)的準(zhǔn)確名稱、濃度、溫度。

4、 選擇產(chǎn)品的使用溫度范圍

產(chǎn)品在出廠前已經(jīng)過(guò)線性溫度補(bǔ)償。其中有些系列的變送器在組裝了電路后又進(jìn)行了綜合溫度補(bǔ)償。補(bǔ)償范圍在單項(xiàng)產(chǎn)品介紹中已標(biāo)出。如用戶有特殊要求，可與我公司協(xié)商。對(duì)于使用溫度范圍寬而又要求總精度高的用戶，還可在二次儀表數(shù)據(jù)處理中采用軟件執(zhí)行溫度誤差修正。超過(guò)補(bǔ)償區(qū)使用，溫度系數(shù)指標(biāo)可能會(huì)超標(biāo)，但仍可使用。長(zhǎng)期在溫度極限區(qū)工作，產(chǎn)品壽命將大大縮短。用戶使用工況如長(zhǎng)期在低溫或超指標(biāo)高溫區(qū)工作。可與我公司協(xié)商特制。