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1200℃預(yù)加熱滑動(dòng)雙溫區(qū)PECVD系統(tǒng)
| 參考價(jià) | 面議 |
- 型號(hào)
- 品牌 其他品牌
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)商
- 所在地 天津市
更新時(shí)間：2024-05-09 14:32:06瀏覽次數(shù)：21889
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| 產(chǎn)地類別 | 國(guó)產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,生物產(chǎn)業(yè),石油,電子,冶金 |
|---|
產(chǎn)品應(yīng)用：二
PECVD系統(tǒng)是借助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離，在局部形成等離子體，而等離子體化學(xué)活性很強(qiáng)，很容易發(fā)生反應(yīng)，在基片上沉積出所期望的薄膜。
產(chǎn)品組成：
PECVD系統(tǒng)配置：
1.1200度開啟式雙溫區(qū)真空管式爐
2.滑動(dòng)系統(tǒng)分為手動(dòng)、電動(dòng)滑動(dòng)，并配置管內(nèi)測(cè)溫系統(tǒng)。
3.預(yù)加熱開啟式管式電爐
4.等離子射頻電源
5.多路質(zhì)量流量控制系統(tǒng)
6.真空系統(tǒng)（可選配中真空或高真空）
產(chǎn)品特點(diǎn)：
生長(zhǎng)溫度低；沉積速率快；成膜質(zhì)量好，適用范圍廣，設(shè)備簡(jiǎn)單。
天津中環(huán)電爐股份有限公司 地址：天津市北辰區(qū)北辰科技園區(qū)雙川道11號(hào)
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