SL1-AV FL2B-4J6 日本山武AZBIL(yamataka)檢測傳感器全國一級總代理
參考價 | ¥ 40 |
訂貨量 | ≥1 |
- 公司名稱 樂利中國有限公司
- 品牌
- 型號 SL1-AV FL2B-4J6
- 產(chǎn)地 日本
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時間 2024/10/19 21:59:59
- 訪問次數(shù) 6987
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日本山武AZBIL(yamataka)檢測傳感器全國一級總代理
日本山武AZBIL(yamataka)檢測傳感器全國一級總代理
日本山武AZBIL(yamataka)檢測傳感器全國一級總代理
概要
PBZ激光傳感器采用平行激光束和一個CMOS線性圖像傳感器專長檢測薄膜、晶圓或玻璃基板的邊緣位置。
- FDN算法
高精度的邊緣檢測*1 - 針對檢測面污垢會影響檢測精度的課題,配置了線性圖像傳感器和光量衰減報警功能。
- 透明物體檢測用算法
可穩(wěn)定檢測透明物體。 - 標準雙通道輸入控制器
可進行雙檢測值運算,減少布線工作量,節(jié)省空間。 - RS-485通信(僅對應PBC-201VN2/PBC-203VN2) 可將數(shù)據(jù)傳輸至PLC及觸摸界面。
- 安全性能
JIS 1級光束。不需要任何特別保護措施。 - 多功能
可忽略薄膜不規(guī)則部分的干擾消除功能*2
玻璃基板對準時傾斜度θ計算功能*3
通過位置變化檢測功能可檢測出玻璃基板上的缺口和裂痕*3
*1. 重復精度:PBZ-CL007V:±1 μmax.,PBZ-CL030H/V:±5 μmax.
*2. 僅限于 PBC-201VN0/2
*3. 僅限于 PBC-203VN2
測定內(nèi)容
控制器型號 | 邊緣位置測定 (透明體或不透明體) | 遮光寬度測定 | 間隙測定 |
7 mm傳感器頭用PBC-201VN0 | ○ | ― | ― |
7 mm傳感器頭用PBC-201VN2 | ○ | ○ | ○ |
30 mm傳感器頭用PPBC-203VN2 | ○ | ― | ― |
重復精度 ±1 μm* — 準確檢測出真實的邊緣位置
FDN算法是一種對于任意的工作距離(WD)都能準確地計算出真實的邊緣位置的算法。
*PBZ-CL007V的重復精度為±1 μm,PBZ-CL030H/V的重復精度為±5 μ。檢測條件請參照規(guī)格。
- 菲涅爾衍射
光射在刀片或薄膜等薄型物體邊緣處會發(fā)生衍射。受光部衍射光的強度分布取決于受光器與薄型物體之間的距離(WD)。
不受檢測面污垢引起的受光光量衰減的影響
受光單元采用線性圖像傳感方式,不受檢測面污垢的影響,實現(xiàn)高精度的檢測。并且,
配置了“光強度衰減報警功能”,到了維修時期便會發(fā)出警報。
- 傳統(tǒng)方式(PD)
因遮光引起受光量的減少,使PD的線性輸出發(fā)生變化。這種傳統(tǒng)的PD方式,由于受光面污垢(或檢測物透明度)造成受光光量衰減,使輸出值發(fā)生變化。所以,為了防止污垢,需要進行空氣吹掃。 - 本公司的線性圖像傳感方式
根據(jù)各像素的亮度信息,測出遮光寬度。即使受光光量衰減,只要線性圖像傳感器的入光量不變,邊緣位置的輸出值就不會變化。
干擾消除功能
不檢測標簽等凸起物,只檢測薄膜的邊緣。
將當前的測定值與設定時間(輸出延遲時間)前的數(shù)值進行比較,如果變化量超過了設定值(跳讀設定值),則保持變化前的數(shù)值并將其模擬輸出。
θ演算功能
根據(jù)玻璃邊緣的位置變化,演算傾斜度θ后輸出。測量范圍:±3°。
缺口檢測功能(位置變化輸出)
設定位置變化時間(T)和位置變化量(L),如果變化量超過設定的傾斜度,進行數(shù)字(DO)輸出。
應用
- 檢測晶圓的偏芯和缺口位置
能夠穩(wěn)定檢測透明度高的玻璃晶圓或砷化鎵晶圓。并且,由于采用了線性圖像傳感方式,因此還能越過視孔進行檢測。
- 檢測薄膜蜷曲
通過使用2對傳感器探頭計算傳感器探頭間的輸出值,可同時檢測薄膜蜷曲和薄膜寬度。
- 檢測薄膜和薄片厚度
- 檢測玻璃基板凹凸和裂痕
利用位置變化檢測功能,可檢測到傳送帶上的玻璃基板邊緣的缺口和裂痕。
- 測定玻璃基板的XYθ
利用3對傳感器,除了能計算玻璃基板的X和Y值外,還能通過內(nèi)部演算計算出θ值。
規(guī)格
平行激光束類型 | ||||||
傳感器 | 控制器 | 傳感器 | 控制器 | |||
型號 | PBZ-CL007V | PBC-201VN0 | PBC-201VN2 | PBZ-CL030H | PBZ-CL030V | PBC-203VN2 |
檢測寬度 | 7 mm | 30 mm | ||||
測定距離 | 10 - 300 mm | 10 - 500 mm | ||||
工作距離(WD) | 10 - 290 mm | 10 - 490 mm | ||||
移動精度 | ±20 μm zui大*1 | ±50 μm zui大*3 | ||||
重復精度 | ±1 μm zui大*2 | ±5 μm zui大*4 | ||||
模擬輸出更新周期 | ― | 500 μs | ― | 10 ms | ||
傳感部溫度特性 | 0.1 % FS/°C | ― | 0.1 % FS/°C | ― | ||
使用溫度范圍 | 0 - 45°C | |||||
使用濕度范圍 | 30 - 85 % RH | |||||
電源電壓 | ― | 24 Vdc ± 10 % | ― | 24 Vdc ± 10 % | ||
模擬輸出 | ― | 1 to 5 Vdc 或 ±5 V: 2 輸出 | ― | 1 to 5 Vdc 或 ±5 V: 2 輸出 | ||
事件輸出 | ― | 同步型晶體管輸出:4 點 | ― | 同步型晶體管輸出:4 點 | ||
外部輸入 | ― | 2 | ― | 2 | ||
數(shù)字顯示 | ― | 7段4位 | ― | 7段4位 | ||
光源 | 可視半導體激光: JIS 1級 | ― | 可視半導體激光: JIS 1級 | ― | ||
保護結(jié)構(gòu) | IP40 | ― | IP40 | ― | ||
通信 | ― | ― | RS-485 | ― | RS-485 | |
傳感器探頭與控制器間的纜線總長度 | zui大 5 m | zui大 30 m |
上述規(guī)格是檢測物體和邊緣方向被設定為“不透明體TOP”或“不透明體BOTTOM”時的數(shù)據(jù)。其他設定時,請與本公司。
*1. 投受光器間距離=20 mm,工作距離=10 mm,檢測物位置=從測定寬度中心位置移動±0.5 mm時。
*2. 投受光器間距離=20 mm,工作距離=10 mm,檢測物位置=從測定寬度中心位置移動±3.5 mm的條件下,重復20次的平均值。
*3. 投受光器間距離=100 mm,工作距離=50 mm,檢測物位置=從測定寬度中心位置移動±0.5 mm時。
*4. 投受光器間距離=20 mm,工作距離=10 mm,檢測物位置=從測定寬度中心位置移動±15 mm的條件下,重復20次的平均值。
工作距離(WD): 受光器與檢測物之間的距離
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AVP202-PSD3A-XDXX-X
AVP201-PBD5A-1X-W
AVP301-XSD4A-1XXX-W
AVP201-PBD5A-1X-W
AVP301-XSD4A-1XXX-W
AVP302-FSD3A
AVP302-MSD3A
AVP300-RSD3A
AVP300-RSD3A-1
AVP300-RSD4A
AVP300-RSD5A
AVP300-RSD4A-1
AVP301-RSD3A
AVP301-RSD3A-1
STG940-E1G-00000-X-E9
STC940-E1RJB2J01-X-XX
STG940-E1G-00000-X-E9
AVP100-H
AVP102-H
AVP301-RSD5A-XXXX-X
AVP301-RSD5A-XXXX-W
STD920-E1MPC1D7E9
PTG71G-L5BPHM-X
JTD921A-1E1M1-X1XX1-T1
JTG980A-1E1B1-X1XX1-T1
AGVB/1BWCB/316SS AVP300
AGVB2BSCS13A/316SST AVP300
AGVB 1-1/2B WITH AVP300
AGVB 1B WITH AVP300
PTG71G-L4B1PH-M-X
MTG18A-025PD2KSDA 電極 Ti 0-2,OM3/h
MTG18A-080PD2CSDA 電極:哈 氏C 0-100M3/H
型號
HTY7903T4P00
TY6800Z3000
HY7903T4000
MY6042A1001
81407861-001
DMC50CH400000000
EST0555Z05BES00
HY7913T4000
TY7043Z0P00
83165803-001
TY6800Z3000
VEN4020B1100
VY5110L0022
HTY7803T4P00
TY6300Z5000
HY7913T1000
HY7043T1000
MY3000F0200
83165803-001
TY7803Z0P00
MY3000D0200新
TY6800Z2010
12624AA-J
HTY7803D4400
83157235-001
HY7903T1000
QY5111A1001
MY5350A1000
83162945-003
型號
VCL-5001
VCX-5001
CMC10G001A00
AUD300C210D
P31A5K0AS002D0
C15TR0RA0100已停產(chǎn)
C15MTR0RA0100替代上
VCL-5001-A
C315GA004500
1lx-5001
VCX-5101-H
1Lx5003
P31A5G0AS00100
SRf106AS101D0
HPX-H1
CP18-D1D
CP18-RD
GL5193
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C205GA00101替代C25TC0UA1100
C7035A500J
C7035A500J
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RA890G117
M6284C1028
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HPF-T003
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1LS-J550EC
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LDVS-5304S
P31A5G0AS01200
VCX-5103-R
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FL2-4T7R-F
1LS-J503H
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1LS-J503H
6LS3-JH
GL5193
GL5100
GL5530
GL5102
GL5191
DMC10S4TV0000
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HP300-S1
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L404F208 35-1000kPa
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ATN110A-1
ATN110A-1
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FL7M-4J6AD
FL7M-4J6AD
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FL7M-8J6ND
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1LS1-J
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