ICP電感耦合等離子體發(fā)射光譜儀可對72種金屬元素和部分非金屬元素（如B,P,Si,Se,Te）進行分析.廣泛應用于稀土分析、貴金屬分析、合金材料、電子產品、石油、化工、商檢、環(huán)保等部門和釹鐵硼、硅、硅鐵、鎢、鉬等領域需要檢測元素的定量分析及各種高純材料的雜質成份分析.儀器性能達到JJG768-2005A類標準（中華人民共和國國家發(fā)射光譜儀計量檢定規(guī)程）,綜合性能達到同類儀器的*水平.

ICP電感耦合等離子體發(fā)射光譜儀的光學系統(tǒng)
1，單色儀
       DGS-Ⅲ型光譜儀采用焦矩為1米的Czerny Turner單色儀，光柵為高光強、高分辯率、雜散光極低的全息光柵，單色儀的設計使其對溫度和壓力的變化都具有*的穩(wěn)定性，因此這種光學系統(tǒng)具有優(yōu)異的分析性能。
2，光柵
     使用110mmX80mm大面積的3600刻線/mm的全息光柵，使單色儀的入射光為可利用的較大視角的平行光，提高了光通量，因此提高了穩(wěn)定性和信號強度。光柵在高分辯率的條件下也可采集到足夠的光，短的測量時間即可滿足需要，從而減少了所需測量的樣品量。由于雜散光極低，顯著提高了S/B，改善了檢出限。
3，分辯率
      光譜儀的分辯率決定了儀器分辯復雜譜線的能力。高分辨率減少了建立分析方法所需的時間，有較好的檢出限和較高的準確度。DGS-Ⅲ的實際分辯率為：Fe（310.030）<0.007nm。采用3600刻線/mm光柵的光譜范圍為190nm—500nm，可以適用于大部分的光譜分析元素。
 
4，光柵直接驅動
         DGS-Ⅲ型光譜儀采用直接驅動光柵的機械傳動方式，計算機控制下的自動波長參比保證波長的機械準確度總是優(yōu)于0.004nm。由于*的重現(xiàn)性,掃描速度很快,全譜范圍掃描只需7秒.光柵轉動的高速度使得儀器在1分鐘內可以分析15個元素,這意味著節(jié)省氬氣和樣品,分析速度快, 穩(wěn)定性較高。
 
ICP電感耦合等離子體發(fā)射光譜儀的激發(fā)光源及進樣系統(tǒng)
1，激發(fā)光源
DGS-Ⅲ型光譜儀的激發(fā)光源為電子管震蕩電路，具有功率自動調節(jié)和相位自動匹配功能,其功率輸出從600W-1200W連續(xù)可調,等離子的微小波動可以由自動調節(jié)系統(tǒng)補償. 40.68MHZ的等離子發(fā)生器符合國家無線電對工業(yè)頻率的要求，它安裝在單道掃描儀機箱內部, 構成一整體。
2，進樣系統(tǒng)
   進樣系統(tǒng)采用目前上*的漩流霧室系統(tǒng)，他具有穩(wěn)定性好，清洗速度快等優(yōu)點。使分析速度更快，數(shù)據更準確。該儀器測量的短期穩(wěn)定性RSD<1.5%，二小時以上的*穩(wěn)定性RSD<2%。
 
ICP電感耦合等離子體發(fā)射光譜儀的電子檢測系統(tǒng)和計算機
    DGS-Ⅲ和計算機之間的接口是一個智能微處理系統(tǒng)。它負責和計算機之間的數(shù)據通訊、采集數(shù)據、控制單色儀驅動系統(tǒng)的精確運動，及提供光電倍增管一組高精度負高壓穩(wěn)壓電源。
1，電子檢測系統(tǒng)
線性動態(tài)范圍zui高可達1×108,足以滿足ICP工作曲線校正的需要;
zui小分辯率為2.5×10-10;
PMT電流測量范圍為：10-12-10-4安培;
高品質的電子系統(tǒng)有助降低儀器的分析檢出限和提高精密度。