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化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>行業(yè)專用儀器及設(shè)備>其它行業(yè)專用儀器>其它專用儀器>35 光刻機

35 光刻機

參考價 ￥ 10000
訂貨量 ≥1
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱 鑫有研電子科技有限公司
  • 品牌
  • 型號 35
  • 產(chǎn)地 中國
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
  • 更新時間 2017/11/29 9:58:19
  • 訪問次數(shù) 421
產(chǎn)品標簽

光刻機

聯(lián)系我們時請說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息，謝謝!












“SIYOUYEN”概念源自于21世紀初期美國，意為科技在社會技術(shù)方面應用的*體現(xiàn)。擁有“*生活，*科技”之桂冠美譽。

商標持有人：鑫有研企業(yè)集團（香港）有限公司系一家專注于微電子工藝設(shè)備技術(shù)，真空技術(shù)，傳動控制技術(shù)等科技類投資型企業(yè)公司。公司投資合作伙伴有意大利MICHELLE集團與香港CIG集團。

1、微電子工藝設(shè)備方面

SIYOUYEN公司在半導體、太陽能、FPD領(lǐng)域濕制程設(shè)備的設(shè)計、研發(fā)、生產(chǎn)及銷售；同時代理半導體、太陽能、FPD領(lǐng)域及其它國外設(shè)備，負責在中國市場的開發(fā)、推廣、服務！

2、真空技術(shù)設(shè)備方面

SIYOUYEN公司在真空行業(yè)領(lǐng)域，通過引近韓國、德國*的真空技術(shù)與合作，開發(fā)出了旋片真空泵，無油真空泵，防爆真空泵等。同時與韓國WONCHANG，韓國DOOVAC，韓國NARA，韓國G&M，韓國KMC，意大利DVP，等形成戰(zhàn)略聯(lián)盟，致力于真空技術(shù)的推廣與銷售。

3、傳動控制技術(shù)方面

SIYOUYEN公司在傳動技術(shù)方面與國家各個重點科研領(lǐng)域機構(gòu)合作（質(zhì)檢，光學，教育，航天，海洋，石油，制藥，檢測等）共同致力于節(jié)能減排低碳環(huán)保，涉及節(jié)能環(huán)保技術(shù)、設(shè)備、產(chǎn)品和服務等方面

鑫有研公司在設(shè)計，制造，銷售，服務過程中嚴格按照ISO9001:2000質(zhì)量管理體系執(zhí)行。并且本公司擁有一批技術(shù)*、服務優(yōu)良的高素質(zhì)人才，和完善的售后服務體系。產(chǎn)品以其*的品質(zhì)進入國內(nèi)市場,為國家重點工程配套、環(huán)保工業(yè)、科研、信息產(chǎn)業(yè)等做出了較大的貢獻，獲得了廣大用戶的好評和信賴。

我們將繼續(xù)以嚴謹?shù)膽B(tài)度始終堅持保證產(chǎn)品品質(zhì)和信譽為本，用戶*的經(jīng)營原則，不斷創(chuàng)造、創(chuàng)新服務于用戶。


鑫有研（SIYOUYEN）公司及其“SIYOUYEN”品牌在中國的發(fā)展歷程

2004年SIYOUYEN公司進入中國

2005年成為中國財富論壇會員單位

2005年獲得中國半導體行業(yè)協(xié)會會員單位

2006年成為中國真空學會會員單位

2007年通過ISO9001：2000質(zhì)量管理體系認證

2008年獲得中國商標

2009年SIYOUYEN獲得（香港頒發(fā)）亞洲證書

2010年SIYOUYEN獲得中國質(zhì)量500強

2010年SIYOUYEN獲得中國品牌500強

2010年SIYOUYEN獲得上海市誠信AAAA企業(yè)證書

光刻機,顯影機，勻膠機，光刻機，烤膠機無油真空泵

 

URE-2000系列光刻機
 
型號：35
一．技術(shù)特征——
非常適合工廠（效率高，操作傻瓜型，自動型）和高校教學科研（可靠性好，演示方便）
采用技術(shù)——積木錯位蠅眼透鏡平滑衍射效應和實現(xiàn)均勻照明；
1、采用三爪和球氣浮同時找平，無論大片、小片調(diào)平精度均高；   
2、具備真空接觸曝光、硬接觸曝、壓力接觸曝光，以及接近式曝光四種功能；     
3、自動分離對準間隙和消除曝光間隙，間隙分離可達500μm；   
4、高倍率雙目雙視場顯微鏡和19英寸寬屏液晶顯示同時觀察對準過程，
并提供USB輸出；既滿足高精度對準，又可用于檢測曝光結(jié)果，且曝光結(jié)果和
方便存儲；  
5、電機機構(gòu)、彈性元件和傳感器保證接觸曝光壓力合適且重復性好；    
7、曝光波長采用純凈365nm,冷光照明（曝光面能量15mW/cm ，溫度小于30度）      
8、對準完成，自動消除曝光間隙，無橫向漂移且可通過監(jiān)視器觀察； 
9、快門可以單獨開啟，也可以數(shù)字設(shè)定自動倒計時曝光（設(shè)定范圍0.1s-9999s）    
10、采用350W進口（德國）直流汞燈，可調(diào)節(jié)光的能量密度；   
11、汞燈具有高亮度和“待機”兩種方式，即曝光時采用高亮度照明，而不曝光
時采用低亮度的“待機”，從而延長了汞燈壽命。      
12、設(shè)備外形美觀精制，性能非常可靠；
13、上下片、版十分方便，自動化程度很高，操作簡便。


 

1、曝光面積：100mm×100mm（可升級6英寸） 
2、分辨力：0.8-1µm（膠厚2mm的正膠）     
3、對準精度：1µm
4、掩模樣片整體運動范圍：X：6mm;Y:6mm
5、掩模尺寸：2.5寸、3寸、4寸、5寸
6、樣片尺寸直徑Ф15mm-Ф100mm（可適應非標準片或碎片）   
7、厚度0.1mm--6mm（可擴展為15mm）
8、照明均勻性：±3-4%（100mm范圍）
9、掩模相對于樣片運動行程：  X:±5mm;  Y:±5mm; q: ±6度
10、汞燈功率：350W（直流） 
11、曝光波長：365nm
12、曝光能量密度：15mW/cm （420nm以上波長小于0.1mW/cm ）
13、曝光方式：定時（到計時方式0.1s—9999s）
二．技術(shù)參數(shù)  

 

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