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雙頻激光干涉儀(型M700,德國耶拿爾公司生產(chǎn),*)

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雙頻激光干涉儀ZLM700

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 上海貝丁漢工業(yè)自動化設(shè)備有限公司——主要從事各種進(jìn)口儀器儀表、機(jī)械設(shè)備、電子產(chǎn)品及其配件等的銷售和技術(shù)服務(wù)工作。 為英國Scantron Industrial Products Ltd公司總代理,美國Hamar Laser Instruments Inc公司中國總代理,德國JENAer公司中國總代理和匈牙利CE Optics中國總代理。經(jīng)營的主要產(chǎn)品包括光學(xué)粗糙度輪廓儀、在線厚度檢測儀、激光直線度測量儀、激光平面度測量儀、激光平行度測量儀、激光垂直度測量儀、孔同軸度檢測儀、主軸對中儀、孔對心軸對中檢測儀、激光幾何測量系統(tǒng)、雙頻激光干涉儀、多點(diǎn)溫度測量儀、相位波前角色散測量儀、材料色散測量儀、載波包絡(luò)相位調(diào)諧儀等。



    本公司的激光儀器主要為激光準(zhǔn)直、對中、校正和系統(tǒng)檢測。功能包括各種機(jī)械設(shè)備和部件的平面度檢測、直線度檢測、平行度檢測、垂直度檢測、孔的同軸度檢測、車床和車削中心的主軸對中檢測、聯(lián)軸器和電機(jī)軸的對中校正檢測等。廣泛應(yīng)用于機(jī)床加工中心幾何量檢測、航空航天設(shè)備的組裝和工裝的校正、船舶制造工業(yè)標(biāo)線和艉軸管檢測、汽車發(fā)動機(jī)同軸度、電廠汽輪機(jī)隔板同軸度、各種印刷造紙注塑設(shè)備輥軸的平行度的檢測,及機(jī)床的定位、補(bǔ)償和運(yùn)動平臺的微位移檢測等。



載波包絡(luò)相位調(diào)諧儀,色散測量儀,雙頻激光干涉儀,激光平面度測量儀,粗糙度輪廓儀,輥筒平行度測量儀

 
在德國,耶拿地區(qū)以生產(chǎn)蔡司光學(xué)產(chǎn)品而聞名。位于該地區(qū)的耶拿爾(JENAer)公司生產(chǎn)的ZLM700雙頻激光干涉儀在同類產(chǎn)品中,由于具有*的性能優(yōu)勢和簡單的操作方法而久負(fù)盛名。由本公司代理,德國耶拿爾JENAer公司生產(chǎn)的雙頻激光干涉儀是真正意義上的雙頻干涉儀,并非單頻干涉原理。

產(chǎn)品功能
     定位精度、重復(fù)定位精度、位移距離測量、速度加速度測量、線性度、直線度、垂直度、平面度、偏擺角、俯仰角、滾動角、角速度、圓形軌跡、微振動測量,還能夠測量數(shù)控機(jī)床回轉(zhuǎn)臺的定位精度和重復(fù)定位精度等,從而實(shí)現(xiàn)定位、校準(zhǔn)、控制和補(bǔ)償。ZLM700主要用于單軸系統(tǒng)的校準(zhǔn)和測量,廣泛應(yīng)用于高速動態(tài)加工工藝中的機(jī)械定位和系統(tǒng)控制。

性能優(yōu)勢
l          真正意義上的雙頻激光干涉儀,頻差為640MHz。請用戶注意“激光干涉儀”和“雙頻激光干涉儀”的區(qū)別。*雙頻激光干涉儀精度更好、性能更穩(wěn)定。世界范圍內(nèi)只有兩家雙頻激光干涉儀的生產(chǎn)商,德國耶拿爾公司是其中的一家。
l          全部部件皆在德國生產(chǎn)制造,絕非為了降低成本而在第三方國家進(jìn)行部件加工。光學(xué)組件全部采用蔡司光學(xué)鏡,是世界上*一家將*的蔡司光學(xué)鏡用于激光干涉儀領(lǐng)域的產(chǎn)品制造商。
l          測量系統(tǒng)采用模塊化設(shè)計(jì),各種測量功能之間互不影響。若用戶先期只需要干涉儀的部分功能(如僅測量直線度),則僅采購所需功能部分的光學(xué)部件(直線度光學(xué)鏡),其他不需要的功能暫時(shí)可以不采購;若后期有其他功能的需求,補(bǔ)充采購功能對應(yīng)的部件即可。
l          激光器壽命更長,可達(dá)20000小時(shí),激光穩(wěn)頻精度高,一小時(shí)內(nèi)為±0.002ppm,在產(chǎn)品壽命內(nèi)可達(dá)±0.02ppm。
l          干涉鏡采用差分干涉原理,系統(tǒng)精度更高,可達(dá)±0.4ppm。
l          計(jì)算機(jī)輔助光路調(diào)整,調(diào)整結(jié)果更準(zhǔn)確。
l          采樣頻率更快,zui高達(dá)1MHz,可在0.001Hz-1MHz之間進(jìn)行選擇。
l          被測物體zui大速度16m/s(可選);采用高精度AE950 PCI數(shù)據(jù)處理器,分辨率達(dá)0.6nm(當(dāng)移動速度為1m/s時(shí),線性分辨率更可高達(dá)為0.1nm)。
l          無加速度限制;當(dāng)光線微弱時(shí),性能也十分穩(wěn)定。
l          信號延時(shí)<200ns;對電磁干擾不敏感。
l          對于多軸聯(lián)動的復(fù)雜光路測量和微位移測量,請選用ZLM800型雙頻激光干涉儀,zui多可實(shí)現(xiàn)六軸聯(lián)動。

工作原理
ZLM700激光干涉儀使用氦氖激光器,采用雙頻外差式工作模式。激光穩(wěn)頻精度為+/-0.002ppm,640MHz的頻差用于信號處理。這種高頻處理信號能夠?qū)Ω咚傥矬w進(jìn)行測量,不會出現(xiàn)干擾誤差,信號延時(shí)時(shí)間極短。
采用光纖電纜,把來自干涉鏡的信號傳輸?shù)接?jì)算機(jī)卡槽連接的電子計(jì)數(shù)器上,避免了外部電磁環(huán)境對測量信號的干擾。因此,ZLM700雙頻激光干涉儀特別適用于惡劣的生產(chǎn)環(huán)境、標(biāo)準(zhǔn)化實(shí)驗(yàn)室和高真空環(huán)境。

技術(shù)參數(shù)

型號:ZLM700
使用高性能數(shù)據(jù)處理器AE950 PCI
He-Ne激光平均波長:
632.8 nm
激光穩(wěn)頻精度:
一小時(shí)2x10-9±0.002ppm
壽命內(nèi)2x10-8±0.02ppm
系統(tǒng)精度(0-40℃時(shí)):
±0.4ppm
光束直徑:
6mm可選3.2mm
激光管突發(fā)zui大輸出功率:
1mW (激光等級2)
每束光可測量的軸數(shù):
1
線性測量距離:
40m,可擴(kuò)展為120m
角度測量范圍:
± 15°20m軸線范圍
平面度測量范圍:
20m行程
直線度測量范圍:
± 5mm,2m10m行程,
選用角度干涉儀可測30m行程
垂直度測量范圍:
± 5mm,2m10m行程,
30m行程需用角度干涉儀
zui大速度:
4m/s可選16m/s
80rad/s,角速度
zui大加速:
無限制
zui高采樣頻率:
內(nèi)部1MHz,外部40MHz
預(yù)熱時(shí)間:
10分鐘
精度/非線性:
±0.3nm (角隅反射鏡
±0.1nm (平面反射鏡
距離測量分辨率:
0.6nm (角隅反射鏡
0.3nm (平面反射鏡
0.1nm 可選
距離測量精度:
(20°±0.5°) 使用AUK時(shí)
(20°±0.5°) 真空中時(shí)
 
±0.4ppm (μ/m)
±0.08 (±0.02)ppm (μ/m)
線性度測量分辨率:
0.6nm (角隅反射鏡
0.3nm (平面反射鏡
0.1nm 可選
線性度測量精度:
(20°±0.5°) 使用AUK時(shí)
(20°±0.5°) 真空中時(shí)
 
±0.4ppm (μ/m)
±0.08 (±0.02)ppm (μ/m)
速度測量精度:
±0.5ppm實(shí)測值
角度測量分辨率:
0.015μrad (3x10-3 弧秒
角度測量精度:
±0.1ppm實(shí)測值
平面度測量分辨率:
0.015μrad (3x10-3 弧秒
平面度測量精度:
±0.2%實(shí)測值
±0.05 弧度/米運(yùn)行距離
直線度測量分辨率:
36nm10m行程
7.25nm,2m行程
直線度測量精度:
±0.5%實(shí)測值,2m行程
± 2.5%實(shí)測值,10m行程
垂直度測量分辨率:
36nm,10m行程
7.25nm,2m行程
垂直度測量精度:
±0.5%實(shí)測值2m,± 0.5弧秒*
±2.5%實(shí)測值10m,± 0.5弧秒*
數(shù)據(jù)接口:
積分信號
32 Bit (
實(shí)時(shí)時(shí)間
Dt » 20 ns
數(shù)據(jù)分析標(biāo)準(zhǔn):
ISO230/VDI3441/VDI2617/NMTBA
工作環(huán)境:
溫度:15°C-30°C
濕度:<90%無冷凝
儲存環(huán)境:
溫度:10°C-40°C
濕度:<95%無冷凝

 

應(yīng)用光路圖


以上為直線度測量示意圖,包括水平方向直線度和垂直方向直線度


以上是平面度測量示意圖


以上是垂直度測量示意圖

 
以上是位移、線性度、速度、加速度、定位精度測量示意圖


以上是對角測量示意圖

 
以上是俯仰角測量示意圖


以上是偏擺角測量示意圖


以上是滾動角測量示意圖


以上是回轉(zhuǎn)臺定位精度測量示意圖

資料下載
耶拿爾雙頻激光干涉儀樣本(中文).pdf
激光干涉儀說明書(中文).pdf



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