化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>化工機(jī)械設(shè)備>其它設(shè)備>其它化工機(jī)械設(shè)備> 韓國(guó)MAT-PECVD電解熱水洗式尾氣處理設(shè)備
韓國(guó)MAT-PECVD電解熱水洗式尾氣處理設(shè)備
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱 西能光伏科技有限公司
- 品牌
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地 韓國(guó)MAT
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷(xiāo)商
- 更新時(shí)間 2015/7/24 7:27:54
- 訪問(wèn)次數(shù) 454
產(chǎn)品標(biāo)簽
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特氣柜(GC)、氣瓶架(Rack)、VMB/VMP、百級(jí)/千級(jí)/萬(wàn)級(jí)凈化車(chē)間潔凈系統(tǒng)
尾氣處理設(shè)備(Scrubber)
化學(xué)品集中供液系統(tǒng)、濃縮化學(xué)品傳輸系統(tǒng)、槽車(chē)到設(shè)備化學(xué)品傳輸系統(tǒng)；
化學(xué)品稀釋及混合系統(tǒng)、
全位置自動(dòng)管管焊機(jī)、管路焊接工程
VCR接頭和閥門(mén)
SWG卡套接頭和閥門(mén)
PFA接頭和閥門(mén)
特氣,普通氣,高純潔凈氣體,
真空泵、干泵
質(zhì)量流量計(jì)
韓國(guó)MAT尾氣處理設(shè)備（Scrubber）適用于：非晶硅薄膜太陽(yáng)能電池、液晶顯示器等PECVD制程、半導(dǎo)體、微電子等行業(yè)中蝕刻制程與化學(xué)氣相沉積制程中產(chǎn)生的廢氣.
處理的氣體包括：SiH4、SiH2Cl2、PH3、B2H6、TEOS、H2、CO、NF3、SF6、C2F6、WF6、NH3、N2O 等。
主要有以下優(yōu)點(diǎn)：
1. 整機(jī)設(shè)計(jì)美觀, 安全標(biāo)準(zhǔn)。
2．擁有處理量特大﹑效率高﹑及長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)轉(zhuǎn)。
3．操作容易上手、保養(yǎng)簡(jiǎn)單快速、零料件經(jīng)久耐用，性價(jià)比高
4．燃燒反應(yīng)室可定時(shí)自動(dòng)清潔, 長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)轉(zhuǎn)效率穩(wěn)定。
System type
Heat-Wet
Features
* Easy Maintenance : Long PM term
* Vertical structure : Strong for powder clogging
* Reduced footprint
* High performance
Capacity & Dimensions
500SLM
700mm（W）x850mm（D）x1610mm（H）
Utility
Power（220V）, CDA, N2, Water, Drain, Exhaust
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