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NLD-570 日本ULVAC愛發(fā)科半導(dǎo)體干法刻蝕設(shè)備研發(fā)
- 公司名稱 玉崎科學(xué)儀器（深圳）有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào) NLD-570
- 產(chǎn)地 日本
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時(shí)間 2024/11/25 14:27:02
- 訪問次數(shù) 22
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真空泵;離心機(jī),;監(jiān)測(cè)儀,真空系統(tǒng),除塵裝置,數(shù)字粉塵儀;粒子計(jì)數(shù)器,環(huán)境監(jiān)測(cè)設(shè)備,環(huán)境測(cè)量設(shè)備 環(huán)境檢測(cè)設(shè)備
| 價(jià)格區(qū)間 | 面議 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,綜合 |
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日本ULVAC愛發(fā)科半導(dǎo)體干法刻蝕設(shè)備研發(fā)
日本ULVAC愛發(fā)科半導(dǎo)體干法刻蝕設(shè)備研發(fā)
NLD干法刻蝕設(shè)備研發(fā)NLD-570
研發(fā)用NLD干法蝕刻 NLD-570是ULVAC原創(chuàng)開發(fā)的使用磁中性線等離子體（NLD）的低壓、低電子溫度、高密度等離子體的干法蝕刻裝置。
特征
與ICP法相比，NLD具有更低的壓力、更高的密度和更低的電子溫度等離子，因此適合加工石英、玻璃、晶體、LN、LT基板等。
耐熱玻璃和硼硅酸鹽玻璃等雜質(zhì)較多的玻璃可以蝕刻出優(yōu)異的形狀和表面光滑度。
厚膜抗蝕劑還可用作石英和玻璃深蝕刻（100μm以上）的掩模。
可進(jìn)行高速蝕刻（石英>1μm/min、Pyrex>0.8μm/min）
可以添加盒室。
目的
光學(xué)器件（衍射光柵、調(diào)制器、光波導(dǎo)、光開關(guān)等）、凹凸微透鏡、光子晶體、流體路徑（μ-TAS）創(chuàng)建等。
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