一、產(chǎn)品介紹：

KYKY-EM69系列鎢燈絲掃描電子顯微鏡

成像質(zhì)量出色、拓展性豐富、兼容低真空模塊、自動功能強(qiáng)大，結(jié)合眾多自動化功能，可幫助您在材料科學(xué)、生命科學(xué)或工業(yè)領(lǐng)域等進(jìn)行科學(xué)研究及失效分析。

二、產(chǎn)品特點：

采用雙陽極設(shè)計，低電壓下分辨率和成像質(zhì)量更高;

樣品臺和倉門一體化設(shè)計，方便換樣，同時可選配多功能超大樣品倉;

樣品定位與保護(hù)功能，紅外CCD功能實時監(jiān)測樣品位置，軟件可根據(jù)樣品尺寸開啟保護(hù)功能，防止樣品碰撞，樣品臺碰撞瞬間可自動停止工作。

三、拓展功能：擴(kuò)展接口≥13個，可以拓展多種附件以及提供多種定制化服務(wù)以及解決方案。

四、電子束曝光功能：

掃描電鏡改造為電子束曝光系統(tǒng)（EBL）后，能夠精確地控制電子束的掃描路徑和能量沉積，從而實現(xiàn)高分辨率的圖形曝光。該系統(tǒng)采用先進(jìn)的電子束掃描控制技術(shù)，支持靈活多樣的圖案設(shè)計和精確控制，不僅具有電子束曝光功能，還保留了原SEM 的觀測功能，這使得用戶可以在同一臺設(shè)備上完成樣品的觀測和加工，提高了工作效率和便利性。

五、技術(shù)參數(shù)

六、產(chǎn)品功能

七、應(yīng)用案例