金屬薄膜方阻測(cè)試儀
- 公司名稱 九域半導(dǎo)體科技（蘇州）有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2024/11/18 16:25:15
- 訪問(wèn)次數(shù) 309
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金屬薄膜方阻，方塊電阻又稱膜電阻，是用于間接表征薄膜膜層、玻璃鍍膜膜層等樣品上的真空鍍膜的熱紅外性能的測(cè)量值，該數(shù)值大小可直接換算為熱紅外輻射率。方塊電阻的大小與樣品尺寸無(wú)關(guān)，其單位為Siements/sq，后增加歐姆/sq表征方式，該單位直接翻譯為方塊電阻或者面電阻，用于膜層測(cè)量又稱為膜層電阻。蒸發(fā)鋁膜、導(dǎo)電漆膜、印制電路板銅箔膜等薄膜狀導(dǎo)電材料，衡量它們厚度的最好方法就是測(cè)試它們的方阻。什么是方阻呢？方阻就是方塊電阻，指一個(gè)正方形的薄膜導(dǎo)電材料邊到邊“之”間的電阻，如圖一所示，即B邊到C邊的電阻值。方塊電阻又稱膜電阻，是用于間接表征薄膜膜層、玻璃鍍膜膜層等樣品上的真空鍍膜的熱紅外性能的測(cè)量值，該數(shù)值大小可直接換算為熱紅外輻射率。方塊電阻的大小與樣品尺寸無(wú)關(guān)，其單位為Siements/sq，后增加歐姆/sq表征方式，該單位直接翻譯為方塊電阻或者面電阻，用于膜層測(cè)量又稱為膜層電阻
產(chǎn)品描述
主要利用結(jié)光電壓技術(shù)非接觸測(cè)試具有P/N或N/P結(jié)構(gòu)的樣品的方阻(發(fā)射極薄層方阻）。
特點(diǎn)
非接觸，非損傷測(cè)試，測(cè)試速度快，重復(fù)性佳，可直接測(cè)試產(chǎn)品片。
技術(shù)參數(shù)
| 探頭量程 | 10- 500 Ω/sq | ||
| 探頭性能 | 動(dòng)態(tài)重復(fù)性 | 靜態(tài)重復(fù)性 | 示值誤差 |
| 測(cè)試條件：采樣率 50SPS（20ms），20 個(gè)點(diǎn)/每次 | |||
| 10 - 50 Ω/sq < 2% | < 0.5% | ≤ ±3% | |
| 50 - 200 Ω/sq < 1% | < 0.2% | ≤ ±3% | |
| 200 - 500 Ω/sq < 0.6% | < 0.15% | ≤ ±3% | |
| 外形尺寸 | 探頭：60mm×30mm× 83mm(L×W×H) 控制盒：173×130×55mm | ||
| 信號(hào)采集 | 采樣率：**500SPS | ||
| 數(shù)據(jù)接口：RS232 RS485 CAN TCP/IP | |||
| 傳輸協(xié)議：Modbus Rtu/ Modbus Tcp、用戶自定義 SOCKET 協(xié)議等 | |||
JPV測(cè)試數(shù)據(jù)
實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)—相關(guān)性
實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)—重復(fù)性和準(zhǔn)確性
| 樣片1 | 樣片2 | 樣片3 | 樣片4 | |||||||||
| 四探針 | SemiLab | 九域 | 四探針 | SemiLab | 九域 | 四探針 | SemiLab | 九域 | 四探針 | SemiLab | 九域 | |
| 1 | 98.5 | 99.51 | 98.11 | 106.1 | 105.77 | 105.65 | 131.2 | 131.82 | 131.84 | 146.6 | 148.52 | 147.32 |
| 2 | 98.6 | 99.84 | 98.1 | 105.4 | 105.96 | 105.63 | 130.1 | 131.55 | 131.99 | 148.2 | 148.81 | 147.23 |
| 3 | 98.9 | 99.68 | 97.99 | 106.8 | 105.98 | 105.78 | 132.5 | 131.57 | 131.94 | 148 | 148.85 | 147.18 |
| 4 | 99 | 98.78 | 97.98 | 106.7 | 106.54 | 105.78 | 132.4 | 131.86 | 131.97 | 146.9 | 148.78 | 147.14 |
| 5 | 98.6 | 98.75 | 97.99 | 105.8 | 105.21 | 105.84 | 131.8 | 131.85 | 131.78 | 145.5 | 148.86 | 147.39 |
| 6 | 98.3 | 98.56 | 97.92 | 106.8 | 105.11 | 105.79 | 132.8 | 131.89 | 131.86 | 146.5 | 148.26 | 147.32 |
| 7 | 98 | 98.57 | 97.92 | 105.7 | 105.78 | 105.81 | 131.7 | 131.54 | 131.7 | 148.5 | 148.19 | 147.26 |
| 8 | 98.2 | 98.79 | 98.06 | 105.3 | 105.95 | 105.76 | 131.1 | 132.66 | 131.81 | 148.6 | 148.21 | 147.15 |
| 9 | 97.6 | 98.69 | 97.82 | 105.5 | 105.76 | 105.76 | 131.4 | 132.05 | 131.76 | 147.4 | 148.51 | 147.28 |
| 10 | 98.6 | 99.13 | 97.92 | 106.2 | 106.14 | 105.82 | 130.8 | 132.29 | 131.73 | 148.1 | 148.15 | 147.09 |
| Ave | 98.43 | 99.03 | 97.98 | 106.03 | 105.82 | 105.76 | 131.58 | 131.91 | 131.84 | 147.4 | 148.51 | 147.23 |
| Rsd | 0.43% | 0.48% | 0.09% | 0.55% | 0.39% | 0.07% | 0.63% | 0.27% | 0.08% | 0.69% | 0.20% | 0.06% |
| % | 0.61% | -0.46% | -0.20% | -0.25% | 0.25% | 0.20% | 0.82% | -0.15% | ||||
說(shuō)明：
1、四探針重復(fù)性較差，探針頭容易出問(wèn)題導(dǎo)致測(cè)試偏差很大
2、Semilab重復(fù)性和九域重復(fù)性偏差不大
3、準(zhǔn)確度偏差都保證在一定的范圍之內(nèi)
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