透射電鏡樣品桿存儲儀
- 公司名稱 研啟科學(xué)儀器(東莞)有限公司
- 品牌
- 型號
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時間 2024/10/22 16:51:43
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一、產(chǎn)品介紹
CIF透射電鏡(TEM)樣品桿清洗機采用遠程離子清洗源設(shè)計,清洗快速高效,低轟擊損傷,同時可實現(xiàn)常規(guī)等離子清洗。主要用于TEM透射電鏡樣品桿的等離子體清洗和真空檢漏。
二、產(chǎn)品特點
u 遠程離子清洗源
u 一機多用
u 清洗快速高效,低轟擊損傷
三、技術(shù)參數(shù)
產(chǎn)品型號 | CIF-TEM |
等離子電源 | 13.56MHz等離子射頻電源,射頻功率5-120W可調(diào) |
遠程等離子源,自動匹配器 | |
清洗室 | 清洗室尺寸?180xH100mm |
清洗數(shù)量 | 可同時清洗3支TEM樣品桿 |
適配品牌 | THERMO FISHER(FEI)、日立HITACHI、捷歐路JEOL |
氣體控制 | 標配單路質(zhì)量流量計(MFC)可選雙路。50毫升/分,自動控制氣體流量,不會受環(huán)境溫度和壓力變化影響 |
氣源選擇 | 根據(jù)需求氧氣、氬氣、氮氣、氫氣等多種清洗氣源選擇 |
真空控制 | 質(zhì)量流量計(MFC),皮拉尼真空計,測量范圍1E-5Torr |
真空保證 | 真空計和電磁閥安全互鎖 |
操控方式 | 7寸全彩觸摸屏控制,中英文互動操作界面 |
真空泵 | 前級泵 |
抽氣速率2 L/s | |
分子泵 | |
極限真空:CF:5x10-6Pa,ISO-K: 3x10-5Pa | |
分子泵抽速>80L/s (N2) | |
入口法蘭:DN100CF/DN100 ISO-K | |
質(zhì)量保證 | 二年質(zhì)保,終身維護 |
電 源 | 220V,50/60Hz,300W |