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電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)E-Beam
- 公司名稱 研啟科學(xué)儀器(東莞)有限公司
- 品牌
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2024/10/22 16:48:24
- 訪問(wèn)次數(shù) 60
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純水機(jī),離心機(jī),旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)儀,光譜儀,質(zhì)譜儀,頻譜儀,示波器,掃描電子顯微鏡,電化學(xué)工作站,,流式細(xì)胞儀,手套箱,磁控濺射
v 產(chǎn)品概述:系統(tǒng)主要由蒸發(fā)室、主抽過(guò)渡管路、旋轉(zhuǎn)基片架、光加熱系統(tǒng)、電子槍及電源、石英晶體振蕩膜厚監(jiān)控儀、工作氣路、抽氣系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、安裝機(jī)臺(tái)等部分組成
v 設(shè)備用途:本系統(tǒng)配有一套電子槍及電源,可滿足在Al,Ni,Ag,Pt,Pd,Mo,Cr和Ti等多種金屬和介質(zhì)膜基片上均勻沉積多層膜的需要
v 真空室尺寸:定制
v 極限真空度:≤6.0E-5Pa
v 沉積源:6個(gè)40cc坩堝
v 溫度:300℃
v 電控描述:全自動(dòng)
v 工藝:片內(nèi)膜厚均勻性:≤±3%
v 特色參數(shù):樣品尺寸及數(shù)量可定制,工件架有拱形基片架和行星形基片架