STM6-LM 工業(yè)測量顯微鏡
- 公司名稱 北京元中銳科集成檢測技術(shù)有限公司
- 品牌 OLYMPUS/奧林巴斯
- 型號 STM6-LM
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2015/7/21 18:56:34
- 訪問次數(shù) 1787
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總評
Olympus 大尺寸測量顯微鏡STM6-LM搭載了大型載物臺,對應(yīng)大型樣品的型號。它搭載了250 mm×150 mm規(guī)格的載物臺和電動調(diào)焦機(jī)構(gòu),能高速、高精度的測量大型樣品,所有的X軸和Y軸移動都有離合控制,只需簡單移動一個(gè)手柄即可迅速實(shí)現(xiàn)粗動和微動之間的切換。在X/Y軸和X/Y平面的自由運(yùn)動使超大型試樣能夠得到快速和精確的檢測。并可在鏡臺上同時(shí)實(shí)現(xiàn)對多個(gè)試樣的測量。
充分利用空間的電氣系統(tǒng)一體型機(jī)體
著重考慮了儀器的空間利用性和操作方便性,在機(jī)體內(nèi)組裝了電氣系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)了計(jì)數(shù)器一體型機(jī)體。此外,在機(jī)體上內(nèi)置了RS232C數(shù)據(jù)通信接口,向電腦傳送數(shù)據(jù)和連接打印機(jī)等外部設(shè)備變得更加容易。不僅如此,還可以使用表計(jì)算軟件,將電腦讀取的數(shù)據(jù)存到數(shù)據(jù)庫。
電氣系統(tǒng)一體型機(jī)體
帶離合器的大型載物臺,能夠快速進(jìn)行大范圍檢查
搭載了250 mm×150 mm大測量范圍的載物臺。X、Y軸的驅(qū)動裝置采用了離合器控制機(jī)構(gòu),只使用一個(gè)控制桿就能快速切換粗調(diào)和微調(diào)。載物臺的隨意伸縮,實(shí)現(xiàn)了大型樣品的快速檢查。另外,還可以在載物臺上放置多個(gè)樣品連續(xù)測量。
帶離合器的大型載物臺
歷經(jīng)時(shí)間考驗(yàn)的高度剛性機(jī)體和載物臺
對測量儀器來說精度是zui重要的,為了長時(shí)間維持儀器的精度不變,奧林巴斯開發(fā)出了堅(jiān)固、不變形的高度剛性機(jī)體和載物臺。在導(dǎo)軌上采用了能得到高直度的線性引導(dǎo)機(jī)構(gòu),還內(nèi)置了*的光柵尺,確保了儀器精度的可靠性。
FEM分析
光柵尺實(shí)現(xiàn)了亞微米級的分辨率
光柵尺的精度直接影響測量顯微鏡的精度。奧林巴斯采用*的高精度光柵尺讀取系統(tǒng)將光學(xué)信息轉(zhuǎn)化為電信息來準(zhǔn)確測量。此外,奧林巴斯還根據(jù)阿貝定理(需要測量的長度和標(biāo)尺,在其測量方向上并排成一條直線時(shí),誤差zui小)確定標(biāo)尺的內(nèi)置位置,zui大程度的減少了誤差。
光柵尺
快速完成Z軸測量的電動調(diào)焦機(jī)構(gòu)
采用了電動調(diào)焦機(jī)構(gòu),大幅度提高了調(diào)焦和測量高度、深度時(shí)的操作性能。使用Z控制器可以輕松切換粗調(diào)和4個(gè)級別的微調(diào)(800、400、200、50 μm),在很大程度上減輕了工作疲勞。
配置在易于觀察位置上的計(jì)數(shù)器
計(jì)數(shù)器與顯微鏡機(jī)體一體化,它的顯示器部分與觀察員的視線幾乎等高,易于觀察。稍微移動視線就可以確認(rèn)測量值,便于集中精神觀察樣品、調(diào)節(jié)樣品位置。
提高邊緣檢測能力、外觀檢查能力的UIS2光學(xué)系統(tǒng)和LED照明
采用了有著高分辨率和高對比度的UIS2光學(xué)系統(tǒng),以及能忠實(shí)的再現(xiàn)樣品色彩、色調(diào)不受照明亮度影響的LED照明。這種設(shè)計(jì)大幅度提高了邊緣的可見性和測量能力、外觀檢查能力。此外,LED照明不會出現(xiàn)燈光閃爍不定和亮度變化,能減輕長時(shí)間工作時(shí)的眼部疲勞。
考慮了人眼分辨能力的米字線,使位置調(diào)節(jié)變得簡單
在測量顯微鏡中如何正確的對準(zhǔn)測量物體和米字線是很重要的。直線校準(zhǔn)時(shí),與使用一根直線相比,使用米字線和虛線能得出更為正確的結(jié)果。奧林巴斯分析了人眼的這種特性和人眼的分辨能力,在焦面板上加入米字線和虛線,提高了對準(zhǔn)的精度。
米字線
易于追加的高精度自動調(diào)焦系統(tǒng)
搭載了單次對焦和跟蹤對焦兩種模式。需要謹(jǐn)慎而細(xì)密的操作才能完成的目視測量高度和深度,通過靈活運(yùn)用操作模式可以實(shí)現(xiàn)自動化。這樣,不僅消除了因個(gè)人差異產(chǎn)生的偏差,還能夠手不離開XY手柄完成觀察,大幅度提高了Z軸測量的效率。而且,因?yàn)閷儆谥虚g鏡筒類型,所以能夠購買之后續(xù)訂安裝。
【單次對焦模式】
在粗略對焦?fàn)顟B(tài)下進(jìn)行自動調(diào)焦,能在一瞬間將焦點(diǎn)對準(zhǔn)視場中心。
【追蹤對焦模式】
在追蹤焦點(diǎn)位置的同時(shí),始終保持對準(zhǔn)焦點(diǎn)的狀態(tài)。測量時(shí)不需要重新調(diào)焦,提高了工作效率。
只要將圖標(biāo)的偏離對齊,就能高精度測量樣品高度的輔助聚焦系統(tǒng)
用于10×~50×物鏡,對應(yīng)反射明視場和反射暗視場觀察。通過對齊投影在樣品上的圖標(biāo)上下偏移,完成對高度的測量。與目視對焦相比,提高了重復(fù)性,減小了因個(gè)人差異產(chǎn)生的測量偏差。能對應(yīng)多種樣品的圖標(biāo)易于對焦,大幅度縮短了測量時(shí)間。
搭載了多種功能的運(yùn)算裝置
無需對樣品和載物臺進(jìn)行平行校準(zhǔn),將樣品放入載物臺后能立即開始測量。只要輸入點(diǎn)數(shù)據(jù)就能進(jìn)行2維運(yùn)算處理,并在顯示器上顯示測量中的校準(zhǔn)項(xiàng)目和測量項(xiàng)目的說明。測量結(jié)果由內(nèi)置打印機(jī)輸出。
此外,可以將獲得的測量數(shù)據(jù)傳送到電腦,使用表計(jì)算軟件加工數(shù)據(jù)。
標(biāo)準(zhǔn)的溯源體系
為了實(shí)現(xiàn)高精度的產(chǎn)品質(zhì)量,從制造到裝配的每一個(gè)階段,奧林巴斯都配備了日本國內(nèi)*的生產(chǎn)環(huán)境。在管理嚴(yán)格的恒溫工廠中,技能嫻熟的員工精密加工仔細(xì)挑選的原材料,精心打造每一件產(chǎn)品。此外,從零部件到成品,所有的生產(chǎn)步驟都實(shí)行了嚴(yán)格的溯源體系管理。
大尺寸測量顯微鏡 STM6-LM 規(guī)格
光學(xué)系統(tǒng) | UIS2光學(xué)系統(tǒng)(無限遠(yuǎn)校正) | ||
機(jī)身 | 觀察方法 | 明視場/暗視場/微分干涉/簡易偏振光 | |
反射/透射 | 反射/透射 | ||
照明系統(tǒng) | 10 WLED白色照明(反射照明用),10 WLED綠色照明(投射用) | ||
對焦單元 | 電動/手動 | 電動 | |
行程 | 205 mm | ||
粗調(diào)速度 | 4.8 mm/sec | ||
微調(diào)速度(可選) | 800 μm/400 μm/200 μm/50 μm (旋鈕旋轉(zhuǎn)一周) 四個(gè)級別 | ||
zui大樣本高度 | 205 mm(金相物鏡),150 mm(測量物鏡) | ||
Z軸測量范圍 | 205 mm(金相物鏡),150 mm(測量物鏡) | ||
物鏡 | 測量物鏡/金屬物鏡 | ||
鏡筒 | 正像單目觀察筒,正像三目觀察筒(100:0/ 0:100 ) | ||
載物臺 | 行程 | 250(X)×150(Y)mm | |
測量精度 | X軸:(3 5L/250)μm,Y軸:(3 3L/150)μm[L:測量長度(mm)] | ||
計(jì)數(shù)器 | zui小讀數(shù)分辨率 | 0.1 μm/0.5 μm(可選) | |
選件 | 運(yùn)算裝置/自動調(diào)焦/輔助對焦 | ||
外形尺寸 | 684(W)×579(D)×843(H)mm | ||
重量 | 170 kg(標(biāo)準(zhǔn)組合) |