ICP-500D 薄膜沉積CVD
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱 北京亞科晨旭科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào) ICP-500D
- 產(chǎn)地 德
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2024/10/12 15:04:52
- 訪問次數(shù) 101
產(chǎn)品標(biāo)簽
聯(lián)系方式：紹兵18263262536 查看聯(lián)系方式
聯(lián)系我們時(shí)請(qǐng)說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息，謝謝!
SENTECH ICP等離子沉積系統(tǒng)-SI 500D
是主流的半導(dǎo)體設(shè)備商，研發(fā)、制造和銷售良好的薄膜測(cè)量?jī)x器（反射儀、橢偏儀、光譜橢偏儀）和等離子工藝設(shè)備（等離子刻蝕機(jī)、等離子沉積系統(tǒng)、用戶定制系統(tǒng)）。
SI 500D等離子沉積系統(tǒng)是ICP-PECVD設(shè)備，利用ICP高密度等離子源來沉積電介質(zhì)薄膜?？稍跇O低溫度下(< 100ºC)沉積高質(zhì)量SiO2, Si3N4, 和SiOxNy薄膜?？梢詫?shí)現(xiàn)沉積薄膜厚度、折射率、應(yīng)力的連續(xù)調(diào)節(jié)。
SI 500 D主要特點(diǎn)：
-
適用于8寸以及以下晶片
-
低溫沉積高質(zhì)量電介質(zhì)膜：80°C~350°C
-
高速率沉積
-
低損傷
-
薄膜特性 (厚度、折射率、應(yīng)力) 連續(xù)可調(diào)
-
平板三螺旋天線式PTSA等離子源 (Planar Triple Spiral Antenna)
-
SENTECH高級(jí)等離子設(shè)備操作軟件
-
穿墻式安裝方式
系統(tǒng)配置：
采購中心
化工儀器網(wǎng)