3D光刻技術(shù)，作為增材制造的一種形式，基于光引發(fā)固化的原理，是一種基于傳統(tǒng)光刻技術(shù)發(fā)展起來的前沿制造方法。它的核心目標(biāo)是在三維空間內(nèi)構(gòu)建復(fù)雜、高精度的結(jié)構(gòu)器件。該技術(shù)通過逐層曝光固化的方式，逐步堆疊材料，從而精確地構(gòu)造出三維結(jié)構(gòu)。3D光刻技術(shù)以其精度和能夠制造多層次復(fù)雜結(jié)構(gòu)的特性而著稱。

3D光刻技術(shù)的應(yīng)用范圍極為廣泛，它不僅涉足微電子領(lǐng)域，還在光學(xué)、生物醫(yī)學(xué)等多個(gè)關(guān)鍵行業(yè)中發(fā)揮著重要作用。

托托科技在這一領(lǐng)域的3D光刻技術(shù)，是基于其深厚的2D光刻技術(shù)底蘊(yùn)發(fā)展而來的。在2D光刻技術(shù)領(lǐng)域的長期積累和不斷創(chuàng)新，使得托托科技的3D光刻設(shè)備在問世之初便站在了行業(yè)的高起點(diǎn)上。托托科技的3D光刻技術(shù)不斷進(jìn)步和發(fā)展，為相關(guān)領(lǐng)域的創(chuàng)新提供了強(qiáng)有力的技術(shù)支持，使得制造更加復(fù)雜和高性能的器件成為可能，同時(shí)也為未來的科技進(jìn)步開辟了新的道路。

多精度鏡頭切換微納3D光刻打印設(shè)備織雀®PL-3D Premium是托托科技自主研發(fā)的一款高精度微3D光刻設(shè)備，其光學(xué)分辨率高達(dá)1μm，能夠支持50 mm×50 mm×50 mm的加工尺寸。該設(shè)備具備對準(zhǔn)套刻功能，能夠在已有結(jié)構(gòu)表面進(jìn)行多材料的精確拼接打印。在制造復(fù)雜三維微納結(jié)構(gòu)、高深寬比微納結(jié)構(gòu)以及復(fù)合材料三維微納結(jié)構(gòu)方面，織雀®PL-3D Premium展現(xiàn)出了非凡的潛力和優(yōu)勢。此外，該設(shè)備還具有制造周期短、打印成本低、成型精度高、可使用的材料種類多樣以及無需模具直接成型的優(yōu)點(diǎn)，為制造業(yè)提供了高效、經(jīng)濟(jì)的解決方案。

多精度鏡頭切換微納3D光刻打印設(shè)備織雀®PL-3D Premium設(shè)備亮點(diǎn)：

光學(xué)精度1μm

打印層厚<5μm

多精度鏡頭切換

支持陶瓷材料

對準(zhǔn)套刻4D光刻

樣品名稱：微針尖

整體尺寸：11.2 mm x 8.3 mm x 1.06 mm

尖直徑：5.75 μm

材料：PC01

樣品名稱：陶瓷超材料

整體尺寸：4 mm x 4 mm x 4.3 mm

最小桿徑：30 μm

材料：CA03

樣品名稱：微彈簧

整體尺寸：4 mm x 4 mm x 6 mm

桿徑：55 μm

材料：TA05