化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>實(shí)驗(yàn)室常用設(shè)備>其它實(shí)驗(yàn)室常用設(shè)備>其它實(shí)驗(yàn)室設(shè)備>PECVD-III-500A-D210 智能型PECVD系統(tǒng)
PECVD-III-500A-D210 智能型PECVD系統(tǒng)
- 公司名稱 安徽貝意克設(shè)備技術(shù)有限公司
- 品牌 貝意克
- 型號(hào) PECVD-III-500A-D210
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2024/9/4 14:51:44
- 訪問次數(shù) 196
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產(chǎn)地類別 | 國(guó)產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
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1、開啟式加熱爐
加熱爐膛采用超輕氧化鋁纖維材料,配K型熱電偶,6點(diǎn)控溫;設(shè)備升降溫控制靈活、加熱爐可電動(dòng)開啟方便客戶更換維修反應(yīng)管。
可由質(zhì)量流量計(jì)精確控制多路氣體按不同流量進(jìn)行混合配比,另外單獨(dú)1路過鼓泡器后進(jìn)入反應(yīng)管內(nèi)。
最高溫度 | 1200℃ |
持續(xù)工作溫度 | ≤1100℃ |
升溫速率 | ≤10℃/min |
控溫精度 | ±1℃ |
加熱元件 | 電阻絲 |
熱電偶 | K型 |
控溫方式 | 模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié),人工智能化30段可編程控制,具有超溫和斷偶報(bào)警功能,人機(jī)界面加PLC控制,15寸液晶屏控制,數(shù)字工控儀表雙控,采用工業(yè)智能控溫儀和軟件實(shí)現(xiàn)雙控 |
加熱總功率 | ≤15KW |
加熱區(qū)尺寸 | 300+300+300mm |
射頻功率 | 1000W |
設(shè)備尺寸 | 2550*850*1600mm |
設(shè)備重量 | 約600KG |