晶圓加熱裝置
具體成交價以合同協(xié)議為準
- 公司名稱 果果儀器科技(上海)有限公司
- 品牌 果果儀器
- 型號
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2024/9/24 11:45:14
- 訪問次數(shù) 2023
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探針冷熱臺,半導(dǎo)體冷熱臺,光學(xué)冷熱臺,XRD原位測試冷熱臺,原位拉伸冷熱臺,拉伸機冷熱臺,SEM冷熱臺,高低溫試驗箱,拉伸試驗機環(huán)境箱,光電力學(xué)測試系統(tǒng)。
應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,電子,航天,電氣 |
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果果儀器 晶圓加熱裝置在半導(dǎo)體制程過程中非常重要,特別是在一些關(guān)鍵工藝中,如晶圓退火、鍵合、勻膠、刻蝕、氣相沉積等,它可以提供穩(wěn)定的溫場環(huán)境及精密的盤面均勻溫度,確保晶圓在各種溫區(qū)中的加熱要求,從而實現(xiàn)半導(dǎo)體器件的制造和研發(fā)。
產(chǎn)品特點:
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快速升溫
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溫度均勻
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控溫穩(wěn)定
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多溫區(qū)可調(diào)
適用領(lǐng)域:半導(dǎo)體、芯片、晶圓等
8英寸不銹鋼晶圓鍵合加熱模塊:
8英寸鋁合金加熱盤:
晶圓加熱盤,RT~400℃,溫度均勻性≤±4℃,盤面平整度≤0.02mm
8英寸不銹鋼加熱盤:
RT~550℃,真空時使用
↑ 仿真模擬 ↑
↑ 平面度檢測及溫控曲線 ↑