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BTF-1400C-II-OP-R 多功能回轉(zhuǎn)CVD系統(tǒng)
- 公司名稱 安徽貝意克設(shè)備技術(shù)有限公司
- 品牌 貝意克
- 型號(hào) BTF-1400C-II-OP-R
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2024/8/21 15:40:13
- 訪問次數(shù) 243
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| 產(chǎn)地類別 | 國(guó)產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 能源,綜合 |
|---|
多功能回轉(zhuǎn)CVD系統(tǒng)：由加熱系統(tǒng)、爐管轉(zhuǎn)動(dòng)系統(tǒng)、供氣系統(tǒng)、真空系統(tǒng)，工控及操作系統(tǒng)等組成。
加熱主體 | |
額定功率 | 10KW |
額定電壓 | AC 220V （L+N+PE）2P 63A空開 |
最高溫度 | 1400℃ |
持續(xù)工作溫度 | ≤1300℃ |
推薦升溫速率 | ≤10℃/min |
加熱區(qū)數(shù)量 | 2區(qū)，獨(dú)立控溫 |
加熱區(qū)長(zhǎng)度 | 300+300mm |
熱電偶 | S型熱電偶 |
控溫方式 | 人機(jī)界面加PLC控制，10寸液晶屏控制，數(shù)字工控儀表雙控，采用工業(yè)智能控溫儀表和軟件實(shí)現(xiàn)雙控，采用模糊型PID控制 |
控溫精度 | ±1℃ |
加熱元件 | 硅碳棒 |
腔體尺寸 | 中間外徑?100* 端頭外徑?60*長(zhǎng)度1400mm |
管徑尺寸 | Φ60*1400mm |
爐膛保溫材料 | 氧化鋁纖維 |
表面溫度 | ≤60℃ |
金屬密封法蘭 | 磁流體密封法蘭 |
控制器 | 可編程控溫儀表，PID調(diào)節(jié)，升、降保溫全自動(dòng) |
無紙記錄 | 內(nèi)置存儲(chǔ)記錄運(yùn)行工藝數(shù)據(jù)，外接USB接口可以電腦連接一鍵拷貝數(shù)據(jù) |
三路供氣系統(tǒng) | |
連接頭類型 | 雙卡套不銹鋼接頭 |
流量計(jì)類型 | 浮子流量計(jì)（3個(gè)），量程可選 |
最大壓力 | 3MPa |
接口 | Φ6 |
內(nèi)外雙拋不銹鋼管 | Φ6 |
壓力真空表 | －0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格 |
截止閥 | Φ6卡套接頭 |
真空系統(tǒng) | |
空氣相對(duì)濕度 | ≤85% |
工作電電壓 | 220V±10% 50~60HZ |
功率 | 1千瓦 |
抽氣速率 | 10m3/h |
實(shí)驗(yàn)真空度 | 5.0X10-1Pa |
容油量 | 1.1L |
進(jìn)氣口口徑 | KF25 |
排氣口口徑 | KF25 |
轉(zhuǎn)速 | 1450rpm |
噪音 | 50dB |
真空計(jì) | |
配用規(guī)管 | ZJ-52T電阻規(guī) |
測(cè)量范圍 | 10 5 ～10 -1 Pa |
測(cè)量路數(shù) | 1路 |
控制范圍 | 5×10 3 ～5×10 -1 Pa |
控制方式 | 繼電器觸點(diǎn)輸出，負(fù)載能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)無感負(fù)載 |
電源 | 90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz |
功耗 | 20W |
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