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計(jì)測(cè)直銷(xiāo) EV-S100P EBARA荏原耐腐蝕用真空泵EV-S200
| 參考價(jià) | ￥ 3358 |
| 訂貨量 | ≥1件 |
- 公司名稱(chēng) 愛(ài)安德商貿(mào)（深圳）有限公司
- 品牌 EBARA/荏原
- 型號(hào) 計(jì)測(cè)直銷(xiāo)
- 產(chǎn)地 日本
- 廠(chǎng)商性質(zhì) 經(jīng)銷(xiāo)商
- 更新時(shí)間 2024/8/13 19:22:56
- 訪(fǎng)問(wèn)次數(shù) 169
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| 泵軸位置 | 臥式 | 抽氣量 | 見(jiàn)參數(shù) |
|---|---|---|---|
| 輸送介質(zhì) | 其他 | 外形尺寸 | 見(jiàn)參數(shù) |
| 葉輪數(shù)目 | 單級(jí) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 石油,能源,電子,電氣,綜合 |
| 最大工作壓強(qiáng) | 見(jiàn)參數(shù) |
EV-S100P EBARA荏原耐腐蝕用真空泵EV-S200
EV-S100P EBARA荏原耐腐蝕用真空泵EV-S200
產(chǎn)品介紹
轉(zhuǎn)子設(shè)計(jì)和空轉(zhuǎn)功能實(shí)現(xiàn)了的能效和緊湊性。有助于降低運(yùn)行成本。此外，還提供耐腐蝕材料選項(xiàng)，以適應(yīng)各種應(yīng)用，從裝載鎖和 SEM 等輕型應(yīng)用到腐蝕工藝。
荏原株式會(huì)社（以下簡(jiǎn)稱(chēng)“荏原”）精機(jī)電子公司藤澤工廠(chǎng)今年5月干式真空泵累計(jì)出貨量達(dá)到15萬(wàn)臺(tái)。這是自1986年第一臺(tái)機(jī)器發(fā)貨以來(lái)，時(shí)隔32年取得的成就。
直到 20 世紀(jì) 80 年代，油旋轉(zhuǎn)泵一直是半導(dǎo)體制造工藝中使用的主流真空泵，但隨著對(duì)更清潔的真空環(huán)境的需求隨著集成度的提高而增加，我們應(yīng)用了我們的核心競(jìng)爭(zhēng)力——旋轉(zhuǎn)機(jī)械技術(shù)，我們已經(jīng)將干式真空商業(yè)化。在與氣體接觸的部位不使用密封液的泵。我們的干式真空泵不僅能產(chǎn)生潔凈的真空，而且采用非接觸式密封結(jié)構(gòu)，減少了維護(hù)頻率。利用這些功能，應(yīng)用目前已從半導(dǎo)體和顯示器制造擴(kuò)展到太陽(yáng)能電池、LED、鋰離子二次電池和各種分析設(shè)備等廣泛的行業(yè)。
根據(jù)中期管理計(jì)劃（E-Plan2019）的措施，荏原將在2019年之前啟動(dòng)生產(chǎn)效率大幅提高的干式真空泵全自動(dòng)化工廠(chǎng)，深化與海外生產(chǎn)基地的合作，并繼續(xù)響應(yīng)半導(dǎo)體市場(chǎng)的穩(wěn)定需求和各領(lǐng)域客戶(hù)的要求。
便攜式EV-PA型等小型節(jié)能風(fēng)冷式、水冷式干式真空泵、實(shí)現(xiàn)更高流量的廢氣處理裝置、實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體超微細(xì)制造的CMP裝置、Fan-out等我們將展示對(duì)封裝技術(shù)至關(guān)重要的電鍍?cè)O(shè)備，以及消除導(dǎo)致良率下降的晶圓邊緣缺陷的斜角拋光設(shè)備。
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