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原子層蝕刻設(shè)備

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北京瑞科中儀科技有限公司一家是專門從事數(shù)碼光學(xué)顯微鏡及相關(guān)實(shí)驗(yàn)室設(shè)備研發(fā)與銷售的新型高科技公司,也專注于半導(dǎo)體材料研究與分析設(shè)備的經(jīng)銷和代理,為高校、企業(yè)科研工作者提供專業(yè)的材料分析解決方案,北京瑞科中儀科技有限公司長期代理銷售供應(yīng)多種分子材料的研究分析設(shè)備,其中包括但不限于掃描電子顯微鏡、感應(yīng)耦合等離子體化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)、離子束刻蝕機(jī)、等離子清洗機(jī)、物理氣相沉積系統(tǒng)以及各品牌的光學(xué)顯微鏡以及實(shí)驗(yàn)室設(shè)備儀器,以專業(yè)能力導(dǎo)向,精細(xì)工藝流程,用科學(xué)手段解決科研中遇到的難題.彼此協(xié)作,為我國的科研領(lǐng)域譜寫新篇章。

公司主要產(chǎn)品包括:生物顯微鏡、金相顯微鏡、偏光顯微鏡、體視顯微鏡、數(shù)碼顯微鏡、顯微鏡數(shù)碼相機(jī)照相接口、顯微鏡*冷光源、數(shù)碼圖像分析系統(tǒng)、測量顯微鏡、三座標(biāo)測量顯微鏡,激光細(xì)胞顯微操作 拉曼顯微鏡光學(xué)儀器及設(shè)備/光學(xué)顯微鏡/熒光顯微鏡光學(xué)儀器及設(shè)備/電子顯微鏡/其它電子顯微鏡半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器/其它半導(dǎo)體行業(yè)儀器設(shè)備其它半導(dǎo)體設(shè)備生命科學(xué)儀器/分子生物學(xué)儀器/PCR儀生命科學(xué)儀器/分子生物學(xué)儀器/基因測序儀生命科學(xué)儀器/分子生物學(xué)儀器/DNA合成儀半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器/薄膜生長設(shè)備/其它薄膜沉積設(shè)備半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器/光刻及涂膠顯影設(shè)備/無掩模光刻機(jī)/直寫光刻機(jī)

公司經(jīng)銷代理品牌包括:蔡司顯微鏡,奧林巴斯顯微鏡,尼康顯微鏡,徠卡顯微鏡,國產(chǎn)各廠家顯微鏡, 華粵行 ,基恩士 , 日本電,日立 ,布魯克,三和聯(lián), sentech(森泰克),SYSKEY(矽碁), PE(鉑金埃爾默)全系產(chǎn)品 ,天美愛丁堡,原子光譜,氣相色譜,PE(鉑金埃爾默)全系產(chǎn)品

代理經(jīng)銷的產(chǎn)品種類包括,熒光顯微鏡,熒光顯微成像系統(tǒng),激光捕獲顯微切割,全自動切片掃描,三維超景深顯微系統(tǒng),動物超聲系統(tǒng),3D超景深顯微鏡,形貌探測顯微鏡,蔡司共聚焦顯微鏡,全自動數(shù)字切片掃描,病理切片掃描,激光切割顯微系統(tǒng),立體顯微鏡,國產(chǎn)激光共聚焦顯微鏡,精準(zhǔn)醫(yī)學(xué)顯微切割,激光顯微切割系統(tǒng),按需搭建顯微系統(tǒng),熒光光譜儀,激光細(xì)胞顯微操作 拉曼顯微鏡光學(xué)儀器及設(shè)備/光學(xué)顯微鏡/熒光顯微鏡光學(xué)儀器及設(shè)備/電子顯微鏡/其它電子顯微鏡半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器/其它半導(dǎo)體行業(yè)儀器設(shè)備其它半導(dǎo)體設(shè)備生命科學(xué)儀器/分子生物學(xué)儀器/PCR儀生命科學(xué)儀器/分子生物學(xué)儀器/基因測序儀生命科學(xué)儀器/分子生物學(xué)儀器/DNA合成儀半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器/薄膜生長設(shè)備/其它薄膜沉積設(shè)備半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器/光刻及涂膠顯影設(shè)備/無掩模光刻機(jī)/直寫光刻機(jī)


公司成立伊始,即本著“以人為本,誠信發(fā)展,合作共贏"的企業(yè)宗旨,快樂中結(jié)識新朋友,穩(wěn)步中追求新發(fā)展。目前公司已經(jīng)擁有一支由專業(yè)技術(shù)人員、營銷人員和維修人員組成的強(qiáng)大隊伍,竭誠為廣大客戶提供包括技術(shù)咨詢、產(chǎn)品配套、安裝調(diào)試、應(yīng)用指導(dǎo)、維護(hù)保養(yǎng)在內(nèi)的整套細(xì)致入微的服務(wù)。同時公司還依托中國地質(zhì)研究院、清華大學(xué)、中國農(nóng)業(yè)大學(xué)、中科院等科研院所的強(qiáng)大技術(shù)實(shí)力,特聘多名教授、博士作為我公司提供多方面的技術(shù)支持。

公司儲備各顯微鏡現(xiàn)貨,只要您有需求,我們就能隨時為您提供各種產(chǎn)品選配服務(wù)。公司管理層、營銷隊伍和技術(shù)人員都具備多年的專業(yè)技術(shù)經(jīng)驗(yàn),相信我們的質(zhì)量和服務(wù)一定是顯微光學(xué)領(lǐng)域中無法可比的。

北京瑞科中儀科技有限公司秉承“專業(yè)的人員,過硬的技術(shù),優(yōu)秀的產(chǎn)品"精神,為您提供專業(yè)、及時、周到的技術(shù)服務(wù),北京瑞科中儀科技有限公司必將成為您值得信賴的伙伴!












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產(chǎn)地類別 進(jìn)口 應(yīng)用領(lǐng)域 化工,農(nóng)業(yè),石油,地礦,能源

原子層蝕刻設(shè)備介紹:

原子層蝕刻設(shè)備ALE)是一種的蝕刻技術(shù),可精準(zhǔn)的控制其蝕刻深度。隨著元件尺寸的進(jìn)一步減小,需要進(jìn)一步的使用ALE才能達(dá)到其所需的精度。

這就引起了人們對被稱為原子級蝕刻(ALE)的技術(shù)的關(guān)注,該技術(shù)克服了原子級常規(guī)蝕刻的局限性?;峨姖{的原子層蝕刻是氣體以定量注入和離子轟擊的周期性蝕刻過程,並具有去除單個薄膜層、極低的損壞率等優(yōu)點(diǎn)。

SYSKEY的系統(tǒng)可以精準(zhǔn)的控制製程氣體與電漿製程,並提供高精準(zhǔn)度的薄膜蝕刻。

原子層蝕刻設(shè)備原子層蝕刻設(shè)備

原子層蝕刻設(shè)備參數(shù):

應(yīng)用領(lǐng)域腔體
  • 矽化合物蝕刻SiO2、SiN4)。

  • 微機(jī)電系統(tǒng)。

  • 金屬、矽與光阻蝕刻。

  • 陽極電鍍處理鋁腔。

  • 通過使用水冷系統(tǒng)、加熱器或加熱包來控制腔體溫度。

配置和優(yōu)點(diǎn)選件
  • 客製化的基板尺寸,直徑可達(dá)12吋。

  • 蝕刻系統(tǒng)中,ICP、RIE、ALE與DRIE可在同一腔內(nèi)。

  • 優(yōu)異的薄膜均勻度小於±3%。

  • 具有高均勻氣體分佈的質(zhì)量流量控制器。

  • 穩(wěn)定的溫度控制,將載臺加熱至200°C或冷卻至-20°C。

  • 使用Tornado ICP線圈,ICP電漿高達(dá)2000W,可增強(qiáng)低溫下的沉積。

  • 由於使用低能量進(jìn)行蝕刻,其損傷率也是較低的。

  • 基板具有氦氣冷卻之功能,均勻的控制溫度。

  • 均勻的氣體擴(kuò)散,具有優(yōu)化的氣體分佈。

  • 靜電吸盤。

  • 蝕刻終點(diǎn)偵測(OES,激光)相容性。

  • 可以與傳送腔、機(jī)械手臂和手套箱整合在一起。









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