TAISEI大成技研 蝕刻廢氣除粉真空裝置

TAISEI大成技研 蝕刻廢氣除粉真空裝置

大成技研株式會社提供的“氣體粉末去除裝置”主要去除半導(dǎo)體、液晶制造設(shè)備（離子注入、CVD、蝕刻等）中排出的氣體反應(yīng)生成物（微細(xì)粉末）。
特別是，通過旋轉(zhuǎn)渦流吸附和高性能磁性元件，可以排除離子注入和CVD設(shè)備中產(chǎn)生的1μm以下的反應(yīng)產(chǎn)物。該裝置在元件內(nèi)幾乎沒有壓力損失，可用于真空泵的前級和后級，是一種創(chuàng)新的粉末捕集器，可以輕松處理現(xiàn)有過濾器無法去除的細(xì)粉末。它有望顯著減少維護(hù)工時并提高生產(chǎn)率。

TRAPACK是一種粉末去除捕集器，可去除半導(dǎo)體和液晶制造設(shè)備廢氣中的反應(yīng)產(chǎn)物（細(xì)粉）。結(jié)構(gòu)有渦流旋流吸附型、磁性元件型（Trapac Element）以及兩者結(jié)合的組合型三種。特別是，組合型排除了蝕刻設(shè)備和CVD設(shè)備發(fā)出的亞微米細(xì)粉。

清潔廢氣管道  減少前線閥門的維護(hù)  真空泵故障預(yù)防     提高生產(chǎn)力  減少前線維護(hù)

 外觀結(jié)構(gòu)   特征

去除細(xì)小反應(yīng)產(chǎn)物（細(xì)粉）

單元密度低，網(wǎng)格空隙大

粉末分層在元件的表面和內(nèi)部。

  主要用途   規(guī)格

  注入     ?一次元件/Trapac元件

  蝕刻     ?次要元素/無

         安裝位置/真空、排氣

  TU-KN100

（元件型）  主要用途：通用

元件類型：DL

端口尺寸：NW25

尺寸：D90mm x H195mm

重量：1.9kg

 TU-KN200

（元件型）  主要用途：通用

元件類型：EL

端口尺寸：NW40

尺寸：D140mm x H210mm

重量：4.6kg

 TU-KN500

（元件型）  主要用途：通用

元件類型：GL

端口尺寸：NW40

尺寸：D210mm x H260mm

重量：10kg

 TU-KN500W

（元件型）  主要用途：通用

元件類型：HL

接管尺寸：NW40

尺寸：D210mm x H390mm

重量：13kg

 TU-200

（元件型）  主要用途：

植入 元件類型：EL

連接尺寸：NW25

尺寸：D210mm x H210mm

重量：5.3kg

 TU-250

（元件型）  主要用途：

植入 元件類型：FL

連接尺寸：NW40

尺寸：D210mm x H295mm

重量：6.5kg

 TU-500

（元件型）  主要應(yīng)用：廠內(nèi)/蝕刻

元件類型：GL

連接直徑：NW40

尺寸：D300mm x H267mm

重量：10.0kg

 TU-500W

（元件型）  主要應(yīng)用：植入/蝕刻

元件類型：HL

連接尺寸：NW40、NW50

尺寸：D300mm x H415mm

重量：13kg

 TU-1000

（元件型）  主要應(yīng)用：就位/蝕刻

元件類型：GL

連接尺寸：NW40、NW50

尺寸：D300mm x H555mm

重量：16.5kg

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 TRAPPACK（Uzu型）

這是一種氣體除粉裝置，是 Trapac 的進(jìn)一步發(fā)展，配備了漩渦型元件。

 外觀結(jié)構(gòu)   特征

由于螺旋結(jié)構(gòu)，粉末不會長時間經(jīng)歷壓力損失

幾乎所有粉末都被渦流數(shù)和渦流螺距的組合拒之門外。

粉末分層在安裝的渦流元件的表面上。

 ?主要用途 / CVD、蝕刻 ?一次元件 / 渦流元件

?二次元件 / 無 ?安裝位置 / 真空、排氣

 TU-50LM /LMJ

(渦流型)  主要用途：蝕刻/CVD

元件類型：ASD-50 渦流

連接尺寸：NW40、NW50

尺寸：□370mm x H707mm

重量：53kg / 68kg

 TU-65LM /LMJ

(渦流型)  主要用途：蝕刻/CVD

元件類型：ASD-65 渦流

連接尺寸：NW40、NW50

尺寸：□400mm x H1013mm

重量：94kg / 99kg

 TU-85LM /LMJ

(渦流型)  主要用途：蝕刻/CVD

元件類型：ASD-85 渦流

連接尺寸：NW40、NW50

尺寸：□430mm x H1064mm

重量：100kg / 115kg

 TU-95LM /LMJ

(渦流型)  主要用途：蝕刻/CVD

元件類型：ASD-95 渦流

連接尺寸：NW40、NW50

尺寸：□485mm x H1064mm

重量：145kg / 160kg

 TU-105LM /LMJ

(渦流型)  主要用途：蝕刻/CVD

元件類型：ASD-105 渦流

連接尺寸：NW40、NW50

尺寸：□535mm x H1264mm

重量：180kg / 240kg

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 TRAPPACK（組合型）

TRAPACK的進(jìn)一步進(jìn)化，配備組合型元件（渦流型+元件型）的氣態(tài)除粉裝置。

 外觀結(jié)構(gòu)   特征

去除細(xì)小反應(yīng)產(chǎn)物（細(xì)粉）

單元密度低，網(wǎng)格空隙大

粉末在螺旋和元件部分分層。

 ?主要用途 / CVD、蝕刻 ?一次元件 / 渦流元件

?二次元件 / Trapak 元件 ?安裝位