Ionfab 300 IBD 離子束沉積
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱 深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司
- 品牌 OXFORD/英國牛津
- 型號 Ionfab 300 IBD
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時間 2024/8/12 10:12:56
- 訪問次數(shù) 172
產(chǎn)品標(biāo)簽
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多模式功能
能夠與其它等離子體刻蝕和沉積設(shè)備相集成
單晶圓傳送模式或集群式晶圓操作
雙束流配置
更低的表面薄膜粗糙度
更佳的批次均勻性和工藝重復(fù)性
準(zhǔn)確終點監(jiān)測 —— SIMS，發(fā)射光譜
產(chǎn)品特點
質(zhì)量薄膜高 ——超低污染
產(chǎn)量高，緊湊的系統(tǒng)體積設(shè)計-——運行成本低
高速襯底架（高達(dá)1000RPM）設(shè)計，并配備了白光光學(xué)監(jiān)視器（WLOM）——更為精確的實時光學(xué)薄膜控制
配置靈活 ——適于先進的研究應(yīng)用
靈活的晶圓操作方式 —— 直開式、單晶圓傳送模式或者帶機械手臂的盒對盒模式
應(yīng)用
磁阻式隨機存取存儲器（MRAM）
介電薄膜
III-V族光電子材料刻蝕
自旋電子學(xué)
金屬電極和軌道
超導(dǎo)體
激光端面鍍膜
高反射（HR）膜
防反射（AR）膜
環(huán)形激光陀螺反射鏡
X射線光學(xué)系統(tǒng)
紅外（IR）傳感器
II-VI族材料
通信濾波器
采購中心
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