VPG 300 無掩模直接成像儀

具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品標簽

高分辨率微結構精確高效微結構制造能力

在線交流發(fā)送詢價進入商鋪同類產(chǎn)品

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公司介紹 主營產(chǎn)品

深圳市矢量科學儀器有限公司是集半導體儀器裝備代理及技術服務的高新技術企業(yè)。

致力于提供半導體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導體分析測試設備、半導體光電測試儀表及相關儀器裝備維護、保養(yǎng)、售后技術支持及實驗室整體服務。

公司目前已授實用新型權利 29 項，軟件著作權 14 項，是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。

展開

冷熱臺，快速退火爐，光刻機，納米壓印、磁控濺射，電子束蒸發(fā)

寫入模式	我	第二
寫作表現(xiàn)
最小特征尺寸 [μm]	0.5	0.8
最小行數(shù)和間距 [μm]	0.8	1.2
地址網(wǎng)格 [nm]	4	8
邊緣粗糙度 [3σ， nm]	30	40
CD均勻度 [3σ， nm]	50	60
2鼈層對齊（全局）[nm]	100	130
寫入速度 [mm2/分鐘]	340*	1020*
*快速模式：680 和 2056 mm2/min，具有相似的性能，但沒有規(guī)格
100 x 100 mm 的曝光時間2面積 [min]	39	17

系統(tǒng)特點
光源	355 nm 的高功率 DPSS 激光器
最大基板尺寸和寫入面積	300 x 300 毫米2
基板厚度	0 至 12 mm （可根據(jù)要求提供其他厚度）
最大曝光面積	300 x 300 毫米2
自動對焦	實時自動對焦系統(tǒng)（光學和氣動）
自動對焦補償范圍	高達 80 μm
流量箱	（閉環(huán)）溫控環(huán)境試驗箱
對準和計量	用于測量和對準的相機系統(tǒng)和軟件包
其他功能和選項	100、150、200 和 300 mm 晶圓的全自動處理和預對準。光學邊緣檢測、頂部對準以及可選的紅外和背面對準。Zerodur® 載物臺和高分辨率差分干涉儀

系統(tǒng)尺寸
	系統(tǒng) / 電子機架
寬度 [mm]	2605 / 800
深度 [mm]	1652 / 650
高度 [mm]	2102 / 1800
重量 [kg]	3550 / 180

安裝要求
電氣	400 VAC ± 5 %， 50/60 Hz， 16 A， 3 相
壓縮空氣	6 - 10 巴