CMP清洗研磨設備技術(shù)專用超聲波流量計
參考價 | ¥1500-¥100000/件 |
- 公司名稱 合肥辰越自動化工程有限公司
- 品牌其他品牌
- 型號
- 所在地合肥市
- 廠商性質(zhì)代理商
- 更新時間2024/8/2 10:37:38
- 訪問次數(shù) 580
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產(chǎn)地類別 | 進口 | 產(chǎn)品種類 | 超聲波 |
---|---|---|---|
價格區(qū)間 | 5萬-10萬 | 介質(zhì)分類 | 氣體&液體 |
應用領域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,電子,制藥,電氣 |
CMP清洗研磨設備技術(shù)專用超聲波流量計
一、化學機械拋光(CMP)基本概念:
CMP,即化學機械拋光,是一種通過化學和機械相結(jié)合的方式對硅片表面進行精確研磨和拋光的技術(shù)。正是這一技術(shù)的硬件基礎,它能夠?qū)崿F(xiàn)硅片表面的全局平坦化,為后續(xù)的工藝提供良好的基礎。CMP設備是半導體制造領域的關鍵工藝設備。
CMP清洗研磨設備技術(shù)專用超聲波流量計
CMP清洗研磨設備技術(shù)專用超聲波流量計
CMP清洗研磨設備技術(shù)專用超聲波流量計
CMP清洗研磨設備技術(shù)專用超聲波流量計
CMP清洗研磨設備技術(shù)專用超聲波流量計
1、CMP 設備基本情況
1)CMP主要主要過程
CMP過程包括三個主要步驟:拋光、清洗和傳送。拋光過程中,拋光液中的化學成分與晶圓表面材料發(fā)生反應,形成一層可被機械移除的薄膜,隨后拋光墊通過機械作用去除這層薄膜,從而實現(xiàn)表面的平滑。
2)CMP設備的主要類型
CMP設備根據(jù)應用端需求可分為8英寸、12英寸以及6/8英寸兼容設備。
3)CMP設備的主要應用領域
主要用于半導體制造領域,且半導體產(chǎn)業(yè)鏈可分為晶圓材料制造、半導體設計、半導體制造、封裝測試四大環(huán)節(jié)。除半導體設計環(huán)節(jié)外,其他領域均有 CMP 設備應用:
①晶圓材料制造環(huán)節(jié):在拋光環(huán)節(jié)需要應用 CMP 設備得到平整的晶圓材料。