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CMP清洗研磨設備技術(shù)專用超聲波流量計

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公司代理品牌

  • 韓國LS 伺服  編碼器 PLC 人機界面 變頻器 (公司主營產(chǎn)品)

全系列供應。無庫存型號,2周供貨期。

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經(jīng)銷品牌:

  • 中國臺灣臺達,長新,日本三菱,松下,歐姆龍,山武,SMC,基恩士,韓國永泰YTC,韓榮,HKC,法國施耐德,德國西門子,倍加福,圖爾克,英國西方,科瑞等。


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伺服電機,驅(qū)動器,變頻器,PLC,觸摸屏,溫控表,氣缸,電磁閥,電動執(zhí)行器

產(chǎn)地類別 進口 產(chǎn)品種類 超聲波
價格區(qū)間 5萬-10萬 介質(zhì)分類 氣體&液體
應用領域 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,電子,制藥,電氣

CMP清洗研磨設備技術(shù)專用超聲波流量計

一、化學機械拋光(CMP)基本概念:

CMP,即化學機械拋光,是一種通過化學和機械相結(jié)合的方式對硅片表面進行精確研磨和拋光的技術(shù)。正是這一技術(shù)的硬件基礎,它能夠?qū)崿F(xiàn)硅片表面的全局平坦化,為后續(xù)的工藝提供良好的基礎。CMP設備是半導體制造領域的關鍵工藝設備。

CMP清洗研磨設備技術(shù)專用超聲波流量計

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1、CMP 設備基本情況

1)CMP主要主要過程

CMP過程包括三個主要步驟:拋光、清洗和傳送。拋光過程中,拋光液中的化學成分與晶圓表面材料發(fā)生反應,形成一層可被機械移除的薄膜,隨后拋光墊通過機械作用去除這層薄膜,從而實現(xiàn)表面的平滑。

2)CMP設備的主要類型

CMP設備根據(jù)應用端需求可分為8英寸、12英寸以及6/8英寸兼容設備。

3)CMP設備的主要應用領域

主要用于半導體制造領域,且半導體產(chǎn)業(yè)鏈可分為晶圓材料制造、半導體設計、半導體制造、封裝測試四大環(huán)節(jié)。除半導體設計環(huán)節(jié)外,其他領域均有 CMP 設備應用:

①晶圓材料制造環(huán)節(jié):在拋光環(huán)節(jié)需要應用 CMP 設備得到平整的晶圓材料。









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