MTS系列三維形貌量測設備：光譜共焦傳感器結構

光譜共焦位移傳感器是一種通過光學色散原  理建立距離與波長間的對應關系，利用光譜    儀解碼光譜信息，從而獲得位置信息的裝置。

在光譜共焦位移傳感器系統(tǒng)中，

系統(tǒng)的測量范圍受4個方面的因素影晌：

1. 光源光譜分布范圍

2. 色散鏡頭在工作波段范圍內的軸向色差

3. 光譜儀的工作波段

4. 光纖耦合器的工作波段

光譜共焦優(yōu)勢

多功能光譜共焦傳感器

我們的光潛共焦傳感器通過高品質光學鏡頭沿汜光軸在不同距離而非單個點上聚焦白光，所有的可見光波段都 在焦點上。這種多功能的光學傳感器為測雯技術開辟了新的維度。

·任何材料都可測試- 非透明/ 透明材料，漫反射/ 反射， 吸收，彩色，粗糙/ 拋光

·同軸測試避免了陰影的影響

·斜面接受度和數(shù)值孔徑使得可測量角度在反 射表面可達 45° , 漫射率表面> 80°

· Z 軸分辨率和精度- 無需 Z 軸掃描獲取測試 結果，每個測試點都可傳遞一個測試值

·超快測試速度的多點線陣傳感器允許多點平行測試

·小且恒定的光斑尺寸可實現(xiàn)高的橫向分辨率

·光學探頭被動，無需移動任何部件或者嵌入電

路- 可保證高的熱穩(wěn)定性，長時間的可靠性和重復性

測量方式對比

數(shù)碼類顯微鏡

- 表面形貌需要做景深疊加，速度慢 - 視野小

- 掃描精度取決于Z軸電機和物鏡景深

激光共聚焦類顯微鏡

- 表面形貌需要逐層掃描，速度慢 - 視野小

- 人為數(shù)據量測

三角反射型類光譜共焦

- Z軸分辨率更低

- 掃描易出現(xiàn)盲區(qū)

- 透明材質和鏡面材質效果不佳

白光干涉

- 使用及維護成本高

- 不適合較大的樣品和起伏比較大的樣品

- 對表面比較粗糙的樣品效果不佳

MTS優(yōu)勢

 非接觸式無損測量

 最高20nm的Z軸分辨率 

 無需景深疊加速度更快

 樣品表面反射率不受限制 

 提供表面三維全部信息

 可自定義掃描區(qū)域

 可接入Q-DTS

 可接入西勵牛油果AI

MTS系列三維形貌量測設備技術參數(shù)

①2kHz以上，測試量程隨頻率增加而降低

②20° C時垂直鏡面測量

所給數(shù)據來源于典型應用中的測試，與其他特定情況的測試會有差異。后續(xù)印刷錯誤，修訂，更新也會造成與表格中所列技術參數(shù)的不同。因此，不保證表格中此產品所給技術參數(shù)，測量結果和信息的一致性。