化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器>集成電路測(cè)試與分選設(shè)備>探針臺(tái)>PSM系列 標(biāo)準(zhǔn)手動(dòng)探針臺(tái)
室溫探針臺(tái)、低溫探針臺(tái)、全自動(dòng)探針臺(tái)、半自動(dòng)探針臺(tái)、科研超導(dǎo)磁體系統(tǒng)、液氦&液氮低溫恒溫器、閉循環(huán)低溫恒溫器、霍爾效應(yīng)測(cè)試系統(tǒng)、三維磁場(chǎng)測(cè)試平臺(tái)、溫控儀等產(chǎn)品。
室溫手動(dòng)探針臺(tái)的主要用途是為半導(dǎo)體芯片的電參數(shù)測(cè)試提供一個(gè)測(cè)試平臺(tái)，外接不同的測(cè)量?jī)x器，配合測(cè)量?jī)x器可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及電容電壓特性曲線等參數(shù)檢測(cè)，用于室溫下的芯片、晶圓和器件的非破壞性測(cè)試。
PSM系列室溫手動(dòng)探針臺(tái)是一款高品質(zhì)的探針臺(tái)能夠?qū)?寸、4寸、6寸、8寸晶圓片進(jìn)行大量非破壞性的、標(biāo)準(zhǔn)的電學(xué)實(shí)驗(yàn)，外接不同的測(cè)試設(shè)備，可以完成對(duì)器件的電學(xué)特性測(cè)量、參數(shù)測(cè)量、DC測(cè)量?？茖W(xué)的桌面設(shè)計(jì)是學(xué)術(shù)和實(shí)驗(yàn)研究的選擇。
特點(diǎn)
• 穩(wěn)定的雙位移調(diào)節(jié)系統(tǒng)，可以調(diào)節(jié)樣品座和探針臂的位移。
• 樣品座可以放置8英寸的晶圓樣品，采用多孔分區(qū)控制氣體吸附固定。
• 移動(dòng)樣品座下面的滑臺(tái)，可以實(shí)現(xiàn)X-Y軸±100mm的移動(dòng)行程，使得樣品測(cè)試和換樣更加便捷?；_(tái)采用磁力吸附固定。
• 可安裝6個(gè)探針臂。
• 探針臂采用磁鐵吸附，可任意移動(dòng)，并且可以三維微調(diào)，操作方便，扎針精準(zhǔn)，四個(gè)探針臂的探針可以扎到樣品的任意位置。
• 探針臂采用三同軸線纜和三同軸接頭，漏電流小，在100fA以內(nèi)。
• CCD放大倍數(shù)為180倍，工作距離為100mm。
型號(hào)分類：
| 型號(hào) | PSM-2 | PSM-4 | PSM-6 | PSM-8 |
| 樣品座尺寸 | 2英寸 | 4英寸 | 6英寸 | 8英寸 |
參數(shù)和指標(biāo)：
| 樣品座 | |
| 卡盤尺寸： | 2/4/6/8英寸，可定制 |
| 材質(zhì)： | 無氧銅鍍金 |
| 樣品固定方式： | 多孔分區(qū)吸附有外圈、內(nèi)圈和中間三個(gè)單獨(dú)控制的氣體吸附通道 |
| 滑臺(tái) | |
| X-Y移動(dòng)行程： | 2/4寸: X-Y軸±50mm；6/8寸: X-Y軸 ±100mm |
| 讀數(shù)精度： | 10μm |
| 探針臂 | |
| 固定方式： | 磁鐵吸附 |
| XYZ微調(diào)移動(dòng)行程： | XYZ-13mm |
| 微調(diào)可分辨精度： | 10μm |
| 探針臂數(shù)量： | 可安裝6個(gè)探針臂（左右各3個(gè)） |
| 電學(xué)線纜： | 三同軸線纜 |
| 漏電流： | 100fA |
| 探針類型： | 直流探針 |
| 光學(xué)系統(tǒng) | |
| 顯微鏡放大倍數(shù)： | 10-180倍 |
| 顯微鏡工作距離： | 90-100mm |
| 顯微鏡分辨率： | 3μm（可選1μm） |
| 光源類型： | 兼配同軸和環(huán)形光源 |
| 可加選件 | |
| 光學(xué)平臺(tái)/直流探針/微波探針/樣品座/屏蔽箱/光纖 | |
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