室溫探針臺、低溫探針臺、全自動探針臺、半自動探針臺、科研超導磁體系統(tǒng)、液氦&液氮低溫恒溫器、閉循環(huán)低溫恒溫器、霍爾效應測試系統(tǒng)、三維磁場測試平臺、溫控儀等產(chǎn)品。
緊湊型室溫手動探針臺的主要用途是為半導體芯片的電參數(shù)測試提供一個測試平臺，外接不同的測量儀器，配合測量儀器可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及電容電壓特性曲線等參數(shù)檢測，用于室溫下超小芯片晶圓和器件的非破壞性測試。
SPSM系列緊湊型室溫手動探針臺是一款經(jīng)濟實惠、入門級的探針臺，能夠?qū)?寸、4寸晶圓片進行大量非破壞性的、標準的電學實驗，外接不同的測試設備，可以完成對器件的電學特性測量、參數(shù)測量、DC測量。緊湊的桌面設計是學術(shù)和實驗研究的選擇。
特點
• 樣品座可以放置4英寸的晶圓樣品
• 樣品座下方位移座可實現(xiàn)樣品座三維精細位移調(diào)節(jié)使得樣品測試和換樣更加便捷。
• 可安裝6個探針臂
• 探針臂采用磁鐵吸附，可任意移動，并且可以三維微調(diào)，操作方便，扎針精準，四個探針臂的探針可以扎到樣品的任意位置。
• 探針臂采用三同軸線纜和三同軸接頭，漏電流小，在100fA以內(nèi)
• CCD放大倍數(shù)為180倍，工作距離為100mm
型號分類：
| 型號 | 樣品座尺寸 |
| SPSM-2 | 2英寸 |
| SPSM-4 | 4英寸 |
參數(shù)和指標：
| 樣品座 | |
| 卡盤尺寸： | 2/4英寸，可定制 |
| 材質(zhì)： | 無氧銅鍍金 |
| 樣品固定方式： | 多孔分區(qū)吸附有外圈、內(nèi)圈和中間三個單獨控制的氣體吸附通道 |
| 位移行程： | X-±6.5mm，Y-±6.5mm，Z-±5mm |
| 讀數(shù)精度： | 10μm |
| 探針臂 | |
| 固定方式： | 磁鐵吸附 |
| XYZ微調(diào)移動行程： | XYZ-13mm |
| 讀數(shù)精度： | 10μm |
| 探針臂數(shù)量： | 可安裝6個探針臂（左右各3個） |
| 電學線纜： | 三同軸線纜 |
| 漏電流： | 100fA |
| 探針類型： | 直流探針 |
| 光學系統(tǒng) | |
| 顯微鏡放大倍數(shù)： | 50-1000倍 |
| 顯微鏡工作距離： | 90-100mm |
| 顯微鏡分辨率： | 最小可識別3μm |
| 可加選件 | |
| 光學平臺/直流探針/微波探針/樣品座/屏蔽箱/光纖 | |
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