美國(guó)Entegris液體流量控制器耐腐蝕高精度 Entegris 6500/6550型 特點(diǎn)介紹

6500型

適用于高純度應(yīng)用的 PTFE 潤(rùn)濕表面

耐腐蝕非金屬零件

內(nèi)置壓力傳感器提供額外的過(guò)程信息

精確至滿量程的 1%，非常適合分配關(guān)鍵化學(xué)品

緊湊的設(shè)計(jì)可以在有限的空間內(nèi)輕松安裝

高精度分配流量和快速響應(yīng)

6550型

采用經(jīng)過(guò)驗(yàn)證的可靠差壓流量測(cè)量技術(shù)和先進(jìn)的閉環(huán)過(guò)程控制技術(shù)

使用視覺(jué)指示器診斷預(yù)防性維護(hù)、故障排除和警報(bào)狀況

集成壓力傳感器提供詳細(xì)的壓力信息

使用氣泡生成介質(zhì)實(shí)現(xiàn)的測(cè)量和控制

穩(wěn)健的設(shè)計(jì)確保穩(wěn)定性和長(zhǎng)期可靠性

設(shè)計(jì)用于 60、90 或 120 L/min 流量

美國(guó)Entegris液體流量控制器耐腐蝕高精度 Entegris 6500/6550 規(guī)格參數(shù)

過(guò)程溫度 10-65℃ 

電源 24 伏直流 (± 10%) @ 1 安 

電力輸出 兩個(gè)電氣隔離輸出（4 至 20 mA），用于流量測(cè)量和壓力測(cè)量 

流量測(cè)量 20 至 100% 流量范圍內(nèi)為滿量程的 ± 1%

流量范圍為 10 至 20% 時(shí)為滿量程 ± 2.5%

（使用 23 °C 純水校準(zhǔn)） 

重復(fù)性 20 至 100% 流量范圍時(shí)，滿量程的 ± 0.5%

對(duì)于 10 至 20% 流量范圍，滿量程的 ± 1% 

壓力測(cè)量范圍 0至414kPa 

最小工作壓力（入口） 69kPa 

最大工作壓力 414千帕 

超壓極限 690千帕 

壓力測(cè)量精度 滿量程的 ± 1%（包括線性度、遲滯性和重復(fù)性的綜合影響） 

電氣設(shè)備外殼標(biāo)準(zhǔn) IP54 

可靠性 接液部件，超過(guò)300萬(wàn)次 

響應(yīng)時(shí)間 3 秒內(nèi)從 10% 升至 95% 全量程