日本kokusai高頻電源用等離子體、半導(dǎo)體等 特點(diǎn)介紹

這是用于半導(dǎo)體制造設(shè)備和工業(yè)加工機(jī)器等離子發(fā)生的高頻電源。我們生產(chǎn)各種頻率（HF 至 UHF）的高頻電源和匹配盒。

我們利用在無線通信系統(tǒng)開發(fā)中長年積累的高頻技術(shù)，實(shí)現(xiàn)了高反射電阻。

在等離子體阻抗分析的支持下，可以優(yōu)化匹配盒，提高匹配收斂速度。

日本kokusai高頻電源用等離子體、半導(dǎo)體等 規(guī)格參數(shù)

通過采用具有高反射功率容限的最新器件，我們實(shí)現(xiàn)了即使在全反射狀態(tài)下也能在一定時(shí)間內(nèi)實(shí)現(xiàn)輸出的設(shè)計(jì)，無需隔離器且無輸出下降。

高頻電源的設(shè)計(jì)必須假設(shè)負(fù)載會(huì)動(dòng)態(tài)變化。例如，即使等離子體點(diǎn)燃前后出現(xiàn)較大的負(fù)載波動(dòng)，反射系數(shù)從無窮大變?yōu)榱?，器件也一定不?huì)損壞。

一般情況下，如果負(fù)載情況不好，可以降低輸出，以保護(hù)器件本身，并在匹配盒完成匹配操作后，輸出的輸出，也可以應(yīng)用于無法完成的應(yīng)用。時(shí)間。

*1RF：射頻*2RF 上升時(shí)間：RF 輸出從 10% 上升到 90% 的時(shí)間

RF 下降時(shí)間：RF 輸出從 90% 下降到 10% 的時(shí)間

頻率HF頻段、VHF頻段 

輸出功率5/10/20/30/40KW 

輸出方式連續(xù)、脈沖 

這是用于半導(dǎo)體制造設(shè)備和工業(yè)加工機(jī)器等離子發(fā)生的高頻電源。我們生產(chǎn)各種頻率（HF 至 UHF）的高頻電源和匹配盒。

我們利用在無線通信系統(tǒng)開發(fā)中長年積累的高頻技術(shù)，實(shí)現(xiàn)了高反射電阻。

在等離子體阻抗分析的支持下，可以優(yōu)化匹配盒，提高匹配收斂速度。