流量范圍（可提供中間范圍）

最小 0…500 mln/min 最大 0…20 ln/min (基于 N2)

壓力范圍

FF-M10：不可用 / FF-M11：0…17 bar(a)

準確度（包括線性）（基于實際校準）

高達 ±0.5% Rd 加 ±0.1% FS (N2/空氣/O2)；對于其他氣體，增加轉換不確定度

重復性

流量傳感器：< ±0.2% Rd；壓力傳感器：< ±0.2% FS

調(diào)節(jié)比

最高可達 1:1000

最大工作壓力

16 bar g

多氣體/多爐灶

嵌入 22 種特別氣體以及這些氣體的任意混合物的氣體數(shù)據(jù)

響應時間（傳感器）

< 30 ms (T63)

長期穩(wěn)定性

3 年內(nèi)小于 0.5% FS；之后每年小于 0.2% FS

安裝

任何位置，姿態(tài)敏感度可忽略不計

溫度敏感性

流量傳感器：零點 0.0015% FS/oC；跨度 0.03% Rd/oC；壓力傳感器：零點 0.16 mbar/oC；跨度 0.05% Rd/oC

溫度精度

±0.2℃（儀器本體溫度）

精密壓力傳感器

±0.5% 滿量程

壓力敏感度

標準：< 0.15% Rd/bar 典型 N2；帶壓力校正：< 0.02% Rd 典型 N2

舷外泄漏完整性

測試 < 2 x 10^-9 mbar l/s He

材質(zhì)（接觸液體的部件）

鋁、不銹鋼、氮化硅、環(huán)氧樹脂、氧化鋁、玻璃

表面質(zhì)量

< 1.6 mu Ra（不銹鋼機身< 0.8 mu Ra）

壓力等級（PN）

16 bar(g) / 250 psig

過程連接

可選：壓縮型、推入式或面密封聯(lián)軸器

密封件

默認：FKM 51415；如需其他材料，請聯(lián)系客服

重量

鋁制機身為 200 克，SS 316 機身為 300 克

防護等級

IP40

儀器本體

鋁或不銹鋼（可選）

電源

24 Vdc ± 10%

最大功耗

0.35 瓦

數(shù)字通信

Modbus RTU 或 FLOW-BUS（可選）

支持接口

USB-C 端口，方便設置；可選藍牙連接，用于監(jiān)控

電氣連接

9 針 D-sub（公頭）

CE

EMC 2014/30/EU、RED 2014/53/EU、RoHS 2011/65/EU